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7列单护的诚 若与雅嗲 背景一半导体生产流涯 多晶 单晶硅片 单晶硅棒 集成电路 集成电路应用 太阳能电池 太阳能电池应用 备简介 直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单 晶体的设备。 将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温 熔化(大于1450℃),在低真空度和氩气保护下, 通过籽晶插入多晶硅熔体后,在籽晶周围形成过冷 态并进行有规律结晶生长,形成一根单晶棒体。 籽晶提升 液面测 温仪 工艺过程 旋转机构 氩气 抽真空 检漏 调压 熔料 单晶棒 籽晶 稳定 熔接 CCD 引晶 热场测 放肩 温仪 转肩 加热器 收尾 坩埚 停炉 氧化 坩埚提升 旋转机构 引晶 放月 等晶 收尾 TD的AZS全自动晶体生长炉
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