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1背景 1.1机床被动隔震系统 超精密机床是实现超精密加工的关键设备,而环境振动又是影响超精密加工精度的重要因素。为了充分隔离基础振动对超精密机床的影响,一般采用弹簧阻尼减震器作为隔振元件,如图1.1所示,弹簧阻尼减震器对超精密机床隔离基础振动有一定的效果,但是这属于被动隔振。 图1.1机床被动隔震系统 1.2机床被动隔震系统的优点 机构简单; 技术成熟; 成本较低; 可靠性较好。 1.3机床被动隔震系统的缺点 属于被动隔振; 隔震效果不好。 1.4机床主动隔震系统 图1.2表示了超精密车床隔振控制系统的结构原理:其中被动隔振元件为空气弹簧减震器,主动隔振元件为电磁作动器。该系统可以简化为一个单自由度振动系统,空气弹簧具有一般弹性支承的低通滤波特性,其主要作用是隔离较高频率的基础振动,并支承机床系统;主动隔振系统具有高通滤波特性,其主要作用是有效地隔离较低频率的基础振动。主、被动隔振系统相结合可有效地隔离整个频率范围内的振动。 图1.2 机床主动隔震系统 其中: m——机床质量 c——空气弹簧粘性阻尼系数 k0——空气弹簧刚度系数 s——机床位移 s0——地基位移 1.5系统性能指标 闭环系统单位阶跃响应的:超调量不大于5%;过渡过程时间不大于0.5秒。 2系统建模 床身质量的运动方程为: 其中: ——空气弹簧所产生的被动控制力 ——作动器所产生的主动控制力 假设空气弹簧温度恒定,则被动控制力可以表示为: 其中: 主动控制力可近似线性化地表示为: 其中: 其中,电枢电流Ia满足微分方程: 其中: 1.性能指标: 闭环系统单位阶跃响应的:超调量不大于5%;过渡过程时间不大于0.5秒(=0.02) 2.实际给定参数: 某一车床的已知参数 3.开环系统状态空间数学模型的推导过程: 对式两边求二次导,对上式再求一次导, 其中 则Ia 又由Ia=-m ,即 Lm 令状态变量为x1 得系统开环的状态方程为: 于是状态空间表达式为: 代入系统参数,用MATLAB求解得: 系统矩阵A为: . 3稳定性分析 3.1李雅普诺夫第一法: 用eig()函数,求得系统特征值为 3个特征值均有负实部,故系统是稳定的。 4可控性可观性分析 4.1可控性 在MATLAB中,可用函数ctrb(A,B)来判别可控性。 4.2可观性 4.3极点配置 由性能指标: 超调量小于5%,即, 过渡时间不超过0.5s,则有,得ξ≥0.69.所以θ 留出裕量,取ξ=0.8,Wn=20。 由公式 s 得共轭极点,,取第三个极点为 5状态观测器 实际系统的全部状态不一定都能测量到
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