基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法-强激光与粒子束.PDFVIP

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2019-05-24 发布于天津
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基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法-强激光与粒子束.PDF

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第卷第期强激光与粒子束 , 30 3 Vol.30 No.3 年月 , 2018 3 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Mar. 2018 基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法* , , , 袁明权杨荷张照云熊壮 ( , ) 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳 621999 : , , 摘要针对塑料耐温性能较差与标准微纳加工工艺不兼容等问题开发了面向塑料基底 PET PET 、。、材料的光刻镀膜等微纳加工工艺通过生长转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于厚基 CVD 0.5mm PET , 。 , 底并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计工艺结果表明本研究所提出的加工方法适用于以。 PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作通过对 PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化 , 。率可计算出石墨烯的压阻应变系数约为 1.3 : ; ; ; 关键词石墨烯应变计塑料微纳加工 PET 中图分类号: 文献标志码: : / O613.71 A doi10.11884HPLPB201830.170423 , 、、作为适应性最强的工程构件力学性能的测试元件应变计被广泛应用于土木铁路机械和航空航天等工。 , 。程领域的健康监测和风险预警在军工领域应变计也起到至关重要的作用应变计既能对库存武器关键部、 , 、件的受力情况应力分布等性能参数进行实时监测又能为库存武器性能的综合分析老化模型的建立以及相 [ ] 1-3 , 。关部组件的寿命预测提供有效的实测数据支撑电阻应变计已在表面比较平整的构件的常规应变测量中