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半导体刻蚀工艺技术——ICP 摘要：ICP 技术是微纳加工中的常用技术之一，本文简单介绍了 ICP 刻蚀技术 (inductively coupled plasma)的基本原理和刻蚀设备的结构，对 ICP 工艺所涉及的化学、 物理过程做了简要分析。阐述了 ICP 刻蚀参数对刻蚀结果的影响以及干法刻蚀的生成物。 由于ICP 技术在加工过程中可控性高，具有越来越重要的地位。以在硅基 MEMS 器件的 ICP 刻蚀为例，详细的介绍了在硅基MEMS 制作过程中 ICP 刻蚀的反应过程，说明了在 ICP 刻蚀 过程中如何实现控制加工深度和角度。据近年来国内外 ICP 技术的发展现状和发展趋势,对 其在光电子器件、半导体氧化物、Ⅲ一 V 族化合物等方面的应用作了一些简要介绍。 关键词：ICP、刻蚀、参数、模型、等离子体 Process technology of semiconductor etching——ICP LIU Zhi Wei （Xian Electronic and Science University, School of Microelectronics.1411122908 ） Abstract：ICP technology is one of the commonly used in micro nano processing technology This paper simply introduces ICP etching technology (inductively coupled plasma) structure and the basic principles of etching equipment,To do a brief analysis on the ICP process involved in chemical, physical process.Describes the effects of ICP etching parameters on the etching results and the resultant dry etching. Because the ICP technology in the process of processing high controllability, plays a more and more important role. Using ICP etching in silicon MEMS device as an example, describes in detail in the reaction process of silicon based MEMS in the production process of ICP etching, explains how to realize the control of machining depth and angle in the ICP etching process. According to the development status and development trend at home and abroad in recent years of ICP technology, its application in optoelectronic devices and semiconductor oxide, III a group V compound as well as some brief introduction. Key words ：ICP 、etching, parameter, model, plasma 1 引言 刻蚀是微细加工技术的一个重要组成部分,微电子学的快速发展推动其不 断向前。从总体上来说,刻蚀技术可分为干法刻蚀和湿法刻蚀两种,初期的刻蚀 以湿法刻蚀为主,但随着器件制作进入微米、亚微米时代,湿法刻蚀难以满足越 来越高的精度要求。干法刻蚀技术得以很大进展。干法刻蚀一般为通过物理和 化学两个方面相结合的办法来去除被刻蚀的薄膜,因此刻蚀具有各向异性,这就 可以从根本上改善湿法所固有的横向钻蚀问题,从而满足微细线条刻蚀的要求。 常用的干法刻蚀有很多 ICP 技术是其中的一种。ICP 刻蚀技术具有刻速快、选 择比