FQC外观检验标准12.15.doc

一、适用范围： 本标准适用于所有华磊chip外观检验。 二、设备与资材： 低高倍显微镜 三、检验标准： 1.不良项目 a.保护层脱落（不超过面积的1/5）） b.残金(不超过PAD面积1/5)) c. 掉电极 d.表面划伤 e.ICP异常 f.表面污染1 g. 电极污染 （不得有任何污染） h.表面异物（非 PAD 区域粘有异物面积不得超过电极 1/5） 光刻胶残留 j.ITO蚀刻过头 k. ITO未蚀刻干净 l.外延缺陷1 l.外延缺陷2 m.针痕不良(针痕不得超过面积的1/5) n.切割不良（四周毛边处最宽 o.排列不良（旋转角度不超过15°） 不超过电极直径的1/3） p.切割不良（不可以切到电极） q.排列不良（上下偏移不得超过电极的1/2，左右偏移不得超过标准间隔的1/3） r. .MESA破损（不得连接N-PAD区域） s.其他（PAD划伤不得与MESA连接） 2.不良类别 a.一般不良 保护层脱落、表面划伤、ICP异常、表面污染、电极污染、表面异物、光刻胶残留、ITO蚀刻过头、ITO未蚀刻干净、外延缺陷、针痕不良大于电极面积1/5、排列不良、MESA破损、空洞率超过10颗。 b.严重不良 残金、掉电极、切割不良、PAD划伤与MESA连接. 3.判定标准 a. 方片标准（5000ea/张）（代工或生产片） 严重不良超过2颗（0.5‰）但小于100颗（2%），退至生产部处理；并填写《品质异常报告单》。 一般不良超过10颗（2‰）但小于100颗（2%），退至生产部处理，并填写《品质异常报告单》。 一般不良或严重不良超过100颗的即降级为次级品，并贴上相应标贴以作标识。 b.大圆片标准 A级品不良超过0.1%，但小于5%，则退至生产部处理，并填写《品质异常报告单》，如不良超过5%，则降级为B级品，并贴上相应标贴以作标识。 B级品不良超过0.5%，但小于10%，则退至生产部处理，并填写《品质异常报告单》，如不良超过10%，则降级为特品处理； 各具体尺寸不良颗数如下： 尺寸 A级品不良数ea (0.1%-5%) B级品不良数ea（0.5%-10%） 7x9mil 50ea-2000ea 250-5000 8x10mil 30ea-1500ea 150-3000 9x11mil 20ea-1000ea 150-3000 12x13mil（大圆片） 15ea-700ea 100-1500 3.抽测比例 代工片十抽一、生产片五抽一，如果有外观不良则需以代工片十抽一、生产片五抽一加抽，如果仍有不良，则整批退至生产部处理，并开出《品质异常报告单》。 三 、相关表单 《FQC日报表》、《品质异常报告单》、《退生产表格》 附： 红色标贴代表：电极颜色 蓝色标贴代表：电极刮伤 黄色标贴代表：芯粒污染 绿色标贴代表：切割不良 湖南华磊光电有限责任公司 文件编号 版本 页次 3 文件名称 FQC外观检验标准 生效日期 核准： 审核： 制表： 湖南华磊光电有限责任公司 文件编号 版本 页次 3 文件名称 FQC外观检验标准 生效日期 核准： 审核： 制表：