第八章扫描电子显微镜与电子探针显微分析材料分析基本方法.ppt

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第八章扫描电子显微镜与电子探针显微分析材料分析基本方法.ppt

第八章扫描电子显微镜与 电子探针显微分析;前 言 ;前 言;前 言;8.1 电子束与固体样品相互作用;背散射电子BSE; 二次电子SE;吸收电子;透射电子;特征X射线;俄歇电子;电子束与固体相互作用;电子束照射Ni作用体积;8.2 SEM结构和工作原理;电子光学系统;Electron Gun;电子光学系统;电子光学系统;电子光学系统;电子光学系统;电子光学系统;电子光学系统;电子光学系统;信号收集和显示系统;真空系统和电源系统;SEM工作原理;beam;SEM主要性能;放大倍数;放大倍数;分辨率;分辨率;分辨率;分辨率;景深;景深;景 深;样品制备;样品制备;8.3 表面形貌衬度原理及应用;表面形貌衬度原理及应用;表面形貌衬度原理及应用;表面形貌衬度原理及应用;表面形貌衬度原理及应用;二次电子像其它衬度;二次电子像其它衬度;二次电子像其它衬度;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;表面形貌衬度的应用;8.4 原子序数衬度原理及应用;原子序数衬度原理及应用;原子序数衬度原理及应用;原子序数衬度原理及应用;8.5 电子探针X射线显微分析 ;电子探针X射线显微分析;电子探针X射线显微分析;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS结构原理与工作;WDS特点;EDS结构原理与工作;EDS结构原理与工作;EDS结构原理与工作;EDS结构原理与工作;EDS结构原理与工作;EDS特点;EDS特点;WDS和EDS比较;EPMA的分析方法与应用;EPMA的分析方法与应用;EPMA的分析方法与应用;EPMA的分析方法与应用;EPMA的分析方法与应用;线扫描分析;EPMA的分析方法与应用;EPMA的分析方法与应用;Carbon;由于人眼能觉察到的最小衬度差别约为5%,因此只有能产生5%衬度差的组成变化对X射线扫描像才有意义。一般不同区域的组成差在1.5~2倍才能观察到衬度较好的X射线扫描像。 ;EPMA的分析方法与应用;弹性背散射电子;OM、TEM、SEM比较;SEM与OM比较;放大倍数;Si(Li)探测器;波谱与能谱比较;EDS

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