薄膜材料与技术-2 课件.pdfVIP

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2018-05-25 发布于湖北
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薄膜材料与技术-2 课件.pdf

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薄膜材料与技术（2 ）李美成 2006秋季学期 1 1 No.2 No.2 学习目的和基本要求学习目的和基本要求课程简介课程简介薄膜研究的历史薄膜研究的历史薄膜的物理概念薄膜的物理概念薄膜的物理现象薄膜的物理现象薄膜的制备技术薄膜的制备技术薄膜的表征方法薄膜的表征方法薄膜的理论研究薄膜的理论研究真空的基本知识真空的基本知识稀薄气体的基本性质稀薄气体的基本性质薄膜材料与技术薄膜材料与技术 2 2 第二章真空技术基础 2.1 真空的基本知识 2.2 稀薄气体的基本性质 2.3 真空的获得 2.4 真空的测量 2.5 实用真空系统薄膜材料与技术薄膜材料与技术 3 3 2.1 真空的基本知识物理气相沉积（Physical Vapor 物理气相沉积（Physical Vapor Deposition, PVD）:真空蒸发，溅 Deposition, PVD）:真空蒸发，溅射镀膜和离子镀射镀膜和离子镀真空技术是薄膜制备技术的基础，真空技术是薄膜制备技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件膜的必要条件薄膜材料与技术薄膜材料与技术 4 4 真空和气压的产生真空和气压的产生真空：是指低于一个真空：是指低于一个大气压的气体空间。 Ft ∆mv 大气压的气体空间。同正常的大气相比，同正常的大气相比，是比较稀薄的气体状 mv 2mv 是比较稀薄的气体状