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靜電防護 晶片設計的靜電防護電路 輸入電路 靜電防護 晶片設計的靜電防護電路 輸出電路 靜電防護 全方位靜電放電防護電路的安排 靜電防護 靜電防護的基本原則(治標方法) ◆ 1. 避免靜電產生 a) 潮濕法 b) 抗靜電塗佈法 c) 內部靜電劑法 ◆ 2. 疏導或中和所產生之靜電 a) 疏導法(典型方法是配戴靜電環) b) 中和法 ◆ 3. 摒蔽靜電場 LITE ON ESD訓練教材 LITE ON E S D 內部訓練教材(AB級) 目錄: 第一部分: ESD基本原理介紹 第二部分: 半導体的抗靜電能力 第三部分: 靜電防護 序言 序言 ◆ 在電子產品越來越細小,越來越復雜的今天,半導体 材料的品質要求也是越來越高的. 而靜電對半導体的 破坏卻因半導体的高集成化而變得更加容易. 為了產品的品質和提升客戶的滿意度,我們必須在 靜電的防護方面作出更有效的行動,來迖成我們的品 質目標. ESD 基本原理介紹 ESD 基本原理介紹 一 靜電放電(ESD)現象 ◆ 嚴寒的冬天,當您脫下暖和的毛衣,您會聽到嗶嗶啪啪聲 ◆ 握手或手接触時常被電擊一下,是由于人身帶了靜電, 接触時突然放電所致 ◆ 云層相互摩擦而帶大量的電荷,相互放電形成能量巨大 的雷電,對地放電則可能形成雷擊 這些就是靜電瞬間放電(ESD)所主導產生的現象 ESD-- Electro Static Discharge ESD 基本原理介紹 二. 靜電的本質 物質由分子和原子組成,原子由原子核和電子組成,原子核帶正電,電子帶負電. 自然條件下,正負電荷平衡,物体不帶電.這類物体叫電中性物体. 在某種條件下,正負電荷的平衡被打破,則物体帶電--這種現象叫物体帶電. 所謂靜電指對觀察者而言,電荷靜止不動或運動非常緩慢.動電則有電荷的快速運動和變化. ESD 基本原理介紹 三. 靜電起電 摩擦起電:當兩個物体產生摩擦時,摩擦表面的電子會從一种物体跑到另一種物体上,分离后,兩個物体的正負電荷失去平衡,得到電子的帶負電,失去電子的帶正電. 感應起電:當有強電場(大的帶電体)存在時,附近的物体被感應,局部或整体產生電荷,這類帶電稱為感應帶電. 靜電可有很多种方式產生,如物体間的摩擦,電場感應,介質极化,帶電顆粒粘附等等 ESD 基本原理介紹 四. 靜電放電 當帶電的物体与一些導体等接触時或靠的很近時,電荷會找到一途徑途突然釋放掉,這种現象叫靜電放電. 靜電放電的條件是:首先有靜電存在,其次要有一定的途徑. 靜電放電的原因和條件多种多樣,控制靜電放電是在人們生活和工作中的各個方面所追求的. ESD 基本原理介紹 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 靜電產生 1.分離 2.摩擦 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 分離,摩擦等起電的過程: ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 分離,摩擦等起電的過程 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 物質產生靜電大小排列如下表，其中愈正性與愈負性物質互相摩擦產生之靜電愈大 空氣石棉人手玻璃云母頭髮尼龍 羊毛毛皮鉛 絲綢鋁 紙 棉花 鋼 木材琥珀封蜡橡膠鎳銅黃銅 纖維聚酯奧璐珞聚氨酯聚乙烯聚丙烯硅 硅橡膠 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 人体帶電研究 摩擦起電:操作中的動作和肢體運動,由衣服,鞋子與其他物体,地面摩擦,使衣服和鞋子帶電,再通過傳導和感應,使人体帶電. 感應起電:當不帶電的人体進入帶電的電場,靜電感應而起電. 傳導起電:人体直接接觸帶電体,或與帶電体髮生靜電放電,另人体在靜電的微塵粉体和霧狀液粒空間活動,使帶電微粒附在人体及衣服上產生靜電. ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 人体活動帶電示意圖 ESD 基本原理介紹 六. 靜電電壓 典型靜電電壓 我們在經受3000伏的靜電電壓!! ESD 基本原理介紹 六. 靜電電壓 人体電容靜電模型 ESD 基本原理介紹 六. 靜電電壓 人体電容典型值 5500 11000 21000 用泡沫和包裝線路板 400 700 2000 在塑料管中取IC 400 800 6000 移動凳子 3000 5000 12000 在塑料地毯上行走 7500 15000 35000 在地毯上行走 55% 40% 10% 相對濕度 電壓(伏) 動作 ESD 基本原理介紹 六. 靜電電壓 人体的典型靜電電壓值 半導体的抗靜電能力 抗靜電能力之量測(Human Body Model) 依 MI