TFT-LCD制程原理.pptVIP

PC: Wills Zhao PC: Wills Zhao 1 磨輪 磨邊 水洗 刮刀 刮除 洗淨 烘乾 風刀 beveling /cleaner/polarizer 目的:將切裂後之玻璃毛邊做導角及外圍測試線路去除,之後洗淨玻璃,並貼上偏光片 偏光片貼附 上下偏光片濾光角度差90度 beveling /cleaner/polarizer 貼片 CF CF偏光片 滾輪 貼片 TFT TFT偏光片 滾輪 加壓脫泡--Auto Clave 側視 LC test Full contact: 面版上每條線路皆與tester接觸,功能上與LCM相同 Shorting bar contact: 將所有data line各別之R線並連,G線並連,B線並連 課程大綱 TFT-LCD製程簡述 TFT製程介紹 Cell製程流程介紹 問題討論與交流 Array Thin-Film Transistor Cell Liquid Crystal Module Array:電晶體 矩形陣列 Cell:顯示單元體 Module:產品模組 CELL MODULE …. + ARRAY + + + cell cell cell cell cell cell cell TFT-LCD構造圖TFT-LCD Panel Structure Cell 製程流程圖 Sealant precure Dispenser TFT基板投入 CF基板投入 Spacer spray Spacer precure Cell test PI Coater Rubbing Sealant precure Attach LC clean PI Clean PI prebake PI post bake Rubbing clean clean Sealant postcure scriber End seal LC injection breaker scriber breaker PI Coater PI Clean PI prebake PI post bake Beveling Cleaner Polarizer Attach Auto clave isotropic 清洗製程 裝置 目的 特徵 有機物除去 利用界面活性劑產生親水性基及親油 性基除去油脂 5um以上particle除去 基板表面直接摩擦 BJ unit 除去1um~5umumparticle 利用空氣與水混合後,在基板表面產 生氣體爆破 megasonic shower unit 除去1um particle 利用液體在基板上產生共 振效果 spin/Air knife 乾燥unit 玻璃基板初步乾燥 除去表面液體 IR unit 玻璃基板乾燥完全 使基板加熱至100度以上,達到水分子 去除 有機物除去 利用UV或O3對有機物進行分解 表面改質（光酸化反應） brush-washing with detergent unit UV unit 紫外線洗淨、改質評價方法： 2..濡性指數測定法： 用濡性試藥來測定表面張力的方法；將30~56 dyne/cm濡性標準試藥用棉棒等塗在被測物表面來查看它擴散的方法。 【表面張力 1 dyne / cm （ 10 μN / cm ）】 優點：方法較簡便，試藥也便宜。 缺點：試驗者個人個人的判定結果會有出入。 PI 塗佈-PI Coating(TFTCF) PI膜(Polyimide) APR版 滾輪 PI製程原理 原理: 將PI液滴在anilox roll上 doctor roll將anilox  roll上PI液整平 APR板上圓形凸出物將anilox roll凹槽內PI擠壓出並帶走 將APR板上PI均勻轉印至基板上,提供液晶配向層 滴入 Doctor roll Dispenser: PI Anilox roll stage APR板 Print roll GLASS 基板 行進方向 PI material Requirements(TFT)  項目 配向膜具備特性 Good printing property Low bake temp. 無rubbing 刷痕 rubbing時無產生PI剝落 Pretilt angle stability 配向後,經加熱後亦保有安定配向性 Solvent resistance 成膜性 配向特性 機械特性 APR(Asahi Photosensitive Resin)版 photosensitive resi