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设备模块培训资料　　　　　　　－循环系统 二、循环系统 （2）循环控制原理图 （3）电气图 （4）循环系统举例对液位要求较低（普通喷淋） （5）故障处理 KUTTLER湿刻蚀机5号槽体及管路图 5#酸洗槽 气动阀 隔膜阀 球阀 流量变送器 液位计 泵浦 滚轮 逆止阀 P 流量计 PT-100温度计 T P F 过滤桶排放(W2-强酸管) 压缩空气 溢流排放(W2-强酸管) 液体排放(W2-强酸管) 0.37KW L WL H 槽体排放(W2-强酸管) 管路排放(W2-强酸管) DI Water A1 液体排放 (W2-强酸管) 温度计 T 循环冷却 KUTTLER湿刻蚀机6号槽体及管路图 6#水洗槽 气动阀 隔膜阀 球阀 流量变送器 液位计 泵浦 滚轮 逆止阀 P 流量计 PT-100温度计 T P 8#槽旁通 F 过滤桶排放(W1-弱酸管) 压缩空气 溢流排放(W1-弱酸管) DI Water 液体排放(W1-弱酸管) 0.37KW L LL PT-100温度计 P 气动阀 隔膜阀 球阀 流量计 泵浦 滚轮 逆止阀 T 过滤桶 强制阀 浮子流量计 液位传感器 L H HH 透气孔 TP100温度计 冷却水回 P P 酸管排放 冷却水进 NAOH集中供液 纯水 补液 配槽 T 压缩空气 KUTTLER湿刻蚀机7号槽体及管路图 P 压缩空气 槽体 DI Water 6#槽旁通 F 过滤桶排放(W1-弱酸管) 溢流排放(W1-弱酸管) 槽体排放(W1-弱酸管) 气动阀 隔膜阀 球阀 PT-100温度计 流量计 液位计 泵浦 滚轮 逆止阀 P T 低液位保护 干运行保护 55B2 55B1 上水刀 下水刀 上风刀 F 过滤器 KUTTLER湿刻蚀机8号槽体及管路图 PT-100温度计 P 气动阀 隔膜阀 球阀 流量计 泵浦 滚轮 逆止阀 T 过滤桶 强制阀 浮子流量计 液位传感器 L H HH 透气孔 TP100温度计 P HCL集中供液 HF供液管路 DI WATER管路 压缩空气 冷却水进 冷却水回 KUTTLER湿刻蚀机9号槽体及管路图 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * THANK YOU 谢谢 设备工程部 培训基本内容 1. 了解湿制程设备液体循环系统的结构． 2. 熟悉循环系统的控制方式． 3. 熟悉循环系统的电气原理，元器件原理． 4.常见循环系统故障及处理方法 一．湿制程设备材料简介 湿制程设备的主要工作原理是：在一定的温度条件下，将硅片浸泡在化学药液中，以及将药液喷洒在硅片表面，对硅片表面进行腐蚀或清洗。 所用的药液主要有：HCL、HF、NaOH、HNO3。因此机体的材料要有耐 腐蚀性。 主要使用的材料有：EPDM、FPM、PVDF、PV、PP、PFA、 PTFE、PVC 湿制程设备常用材料 （1）系统组成：PC、PLC 变频器、循环泵 过滤桶、气动阀 喷淋管、手动球阀 流量计、液位计 系统作用：完成硅片的化学处理，药液的循环。保证槽体内化学溶液的均匀性，并满足温度控制的需要。 PC PLC 变频器 循环泵 循环泵共有启用、待机、停机三种状态。PC机可设定其工作功率，通过PLC、变频器控制其工作。本系统为开环系统，设定后启用循环泵，泵始终处于工作状态。液位计主要起保护、报警作用。 液位计 ※ 当硅片的反应由浸泡完成时，对液位要求很高，因为它们是单面浸泡，液位控制很关键。主要有循环泵、流量计、挡板、回流球阀和脉涌泵组成。 循环泵 脉涌泵 废液排放管路 进液管路 流量计 回流球阀 工作过程：循环泵把药液从储液槽打进槽体，挡板和回流球阀的调整控制液面高度，流量计用来进行液面微调，达到液面控制要求，其中脉涌泵使药液充分接触。 对液位要求较高（浸泡槽） 浸泡槽的液位由工艺调整好后，在工作期间就不会改动了，因此挡板的高度，泵的功率大小，阀的开度都是禁止改动的。液位的控制是一个开环系统，因此为保证液位的准确性，每天都要检查液位，但一般情况下，液位是比较稳定的。常见的液位异常主要由泵和阀的损坏引起。 脉涌泵打进药液 回流球阀 挡板 挡板 硅片 浸泡槽结构 循环故障 循环泵无法正常工作， 检查发现循环泵压 力太小，无法循环 原因:叶轮上的轴承处留有润滑脂 （新泵都有）和硅片在制绒槽 的反应生成物氟硅酸，同时 磁囊内也留有氟硅酸 用水清理后现正常 原因：未加