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图形转移: 就是将在经过处理的铜面上贴上一层干膜(或湿膜),在紫外光的照射下,将照相底版上的线路图形转移到铜面上,形成一种抗蚀的掩膜图形,那些未被抗蚀剂保护的不需要的铜箔,将在随后的化学蚀刻工艺中被去掉,蚀刻后去掉抗蚀层,得到所需要的裸铜电路图形。 二、图形转移的方法 丝网漏印法 成本较低,但只能制造 大于 或等于10MIL的印制导线 光成像法 可得到高质量的转移图像,日 益成为高精度、高密度、细线 路的印制板的主要生产方法 三、工艺流程 四、工艺原理 光成像图形转移法所使用的光成像材料按物理状态分为: 干膜抗蚀剂 液体抗蚀剂 # 光致抗蚀剂:用化学方法获得的能抵抗某种蚀刻液或电镀溶液浸蚀的 感光材料。 以上二类材料主要都是由主体树脂和光引发剂或光交联剂组成。其感光原理基本一样: 紫外光能量 光引发剂 R’ 单体 聚合物 自由基传递 聚合交联反应 其显像反应如下: 5.1 干膜结构 PET COVER FILM 25μm厚 干膜(光阻胶层) PE 聚乙烯保护膜 25μm厚 其中:聚乙烯保护膜是覆盖在感光胶层上的保护膜,防止灰尘等污物 粘污干膜 阻止干膜胶层粘附在下层PET上; 聚脂类透明覆片(PET)作用: 1、避免干膜阻剂层在未曝光前 遭刮伤; 2、在曝光时阻止氧气侵入光阻胶层,破坏游离基,引起感光度 下降 5.2 光阻胶层的主要成分及作用 光阻胶层的主要成分 作用 粘结剂(成膜树脂) 起抗蚀剂的骨架作用,不参加化学反应 光聚合单体 在光引发剂的存在下,经紫外光照射下 发生聚合反应,生成体型聚合物,感光 部分不溶于显影液,而未曝光部分可通 过显影除去 光引发剂 在紫外光照射下,光引发剂吸收紫外 光能量产生游离基,游离基进一步引 发光聚合单体交联 各种添加剂 增强干膜物性及增强铜面附着力等 5.3 生产工艺 5.3.1 基板前处理 1) 目的 未经任何处理的原铜表面,对干膜不能提供足够的粘附,因此必须清除其上一切的氧化物、污渍,同时要求表面微观粗糙,以增大干膜与基材表面的接触面积。 2) 清洁处理方法 磨料刷辊式刷板机 机械清洗法
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