单晶硅电池生产工艺1.pptVIP

清洗工艺 1 原片分拣 （1）根据电阻率把电池分类。硅片常见电阻率分类0.5-6Ω·㎝，0.5-3 Ω·㎝ ，3-6 Ω·㎝。 （2）把藏片，厚片，薄片，缺损片，厚度不均匀片取出 2 去损伤层：Si+2NaOH（30%）+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑， 原叫减薄（原来硅片太厚，300μm,目前180±20 μm ）。思考：为什么硅片厚度会由300降低到180？ 3 制绒 Si+2NaOH(0.8%-1.3%)+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑，溶液中加有酒精或异丙醇，增加各向异性引子，加速形成金字塔。85℃左右，时间10-50分钟 4 盐酸洗（V浓盐酸：V水=1:6） 或盐酸（37%）双氧水（30%）混合洗（II号清洗液）（ V浓盐酸： V双氧水：V水=1：1：6） 85℃左右，清洗5-20分钟。盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与 Pt 2+、 Ag+、Cd2+、Hg2+等金属离子形成可溶于水的络合物。 5 HF洗（VHF:V水=1：10），室温, 5-10分钟。有些厂家不用。 扩散 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下 如果氧气充足， PCl5能和氧继续反应生成Cl2和P2O5。为了避免产生PCl5，应通入适量氧气。 等离子刻蚀 硅扩散后硅片表面有磷硅玻璃产生。SiO2混合P和P2O5。用HF清洗掉表面的磷硅玻璃。HF和水体积比1:10 偏磷酸 P2O5+H2O-------2HPO3 H3PO4-------HPO3+H2O 红外加热灯管 卤钨灯 纵向温度分布曲线 横向温度的稳定性 连续和非连续放片 做一个优秀的技术人员需要具备的东西： 1 熟悉所用到的所有的化学品的物理化学性质。HF，H2SO4，双氧水，盐酸，氢氧化钠，酒精，异丙醇，三氯氧磷，去离子水，硅烷，氨气，四氟化碳 2 尽可能掌握每个工序的细节（比如印刷） 3 熟悉所用到的器具及材料的物理化学性质（比如片架（花篮）聚四氟乙烯，浆料） 4 勤于思考，能发现新问题，解决新问题 最好熟悉电池生产线中所有的东西。比如纯水制造，硅烷燃烧塔，酸气处理装置等。 推荐几本书： 《硅及其氧化物的电化学》 《太阳电池标准汇编》 《等离子体加工技术》 《微加工导论》 从电驴下英文版 《芯片制造》 《网版印刷技术》 《太阳电池及其应用》张富鑫 《半导体物理学》 《太阳能电池》马丁格林 《太阳电池材料》 1 化学清洗 ⑴原片分拣 ⑵去损伤层 ⑶制作绒面 ⑷盐酸清洗 2 扩散刻蚀 ⑴扩散制结 ⑵刻蚀去边 去背节 3 制减反膜 PECVD设备 4 印刷电极 5 烧结 6 分选 ⑴印刷正极 ⑵印刷背场 ⑶印刷负极 把正负极和硅片烧在一起以便导电 ⑷ 二次印刷 返回首页 两张多晶硅绒面显微照片 返回首页 钛酸丁酯（Ti(OC2H5)4）无色至浅黄色液体。在-55℃时为玻璃状固体，置空气中易固化成透明细片。遇水分解。形成TiO2膜层的主要物质。 1900-2100 深红色 930-1000 淡蓝色 1800-1900 红色 770-990 蓝色 3000-3300 红色 1500-1800 橙黄色 730-770 深蓝色 2800-3000 橙黄色 1300-1500 黄色 550-730 红色 2500-2800 浅绿色 1200-1300 淡黄色 400-500 黄褐色 2300-2500 蓝绿色 1100-1200 硅本色 200-400 褐色 2100-2300 蓝色 1000-1100 很淡蓝色 0-200 硅本色 厚度（埃） 颜色 厚度（埃） 颜色 厚度（埃） 颜色 氮化硅膜的颜色与厚度的对比表 返回首页 返回首页 返回首页 875℃ 640℃ 560℃ 400℃ 300℃ 200℃ 150℃ 温区7 温区6 温区5 温区4 温区3 温区2 温区1 一个烧结炉的温区温度 分 选 测试光源：氙灯。模拟太阳光。 AM1.5 1000W/m2 分档方法：1 按转换效率(功率)分档 2 按最大功率点电流分档 后者更好些。 测试参数：Voc 开路电压 Isc 短路电流 FF 填充因子 Pm 最大功率 Ipm