厚薄膜材料与器件一单元绪论演示文稿.pptVIP

不同温度下薄膜的生长特征 100K 300K 400K 450K Morphology of Au epitaxy films at various temperature The coverage is 0.2 1. 薄膜和厚膜材料研究现状 薄膜材料的研究现状 三、薄厚膜的研究现状及发展趋势 电子薄膜材料的研究发展与信息技术、微电子技术和计算机科学的发展紧密相关。 目前，电子薄膜的研究正向多功能、高性能、新工艺等方向发展。其基础研究也在向分子层次、原子层次、纳米尺度、介观结构等方向深入。 近十年来，研究最为活跃的薄膜材料主要有： （1）新型半导体薄膜 以非晶硅氢化物（a-Si:H）和非晶硅基合金膜 （a-SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN:H）为代表。为 太阳能电池、显示、传感、探测、发光材料等。 （2）超硬宽带隙薄膜 金刚石、氮化物等。窗口材料、紫外探测等。 （3）纳米薄膜 发光材料、光电存储等。 （4）超晶格和量子井薄膜 发光元器件、激光、探测器等。 （5）光电子薄膜 光致发光、电致发光器件。 （6）介质薄膜、超导薄膜、巨磁阻薄膜 探测、存储、传感等元器件。 厚膜材料的研究现状 厚膜材料是技术性非常高的材料，材料的各种物理特性和材料的配方密切相关。目前研究开发的厚膜元器件主要有： （1）厚膜导体材料 (Thick Film Conductors) （2）厚膜电阻 (Thick Film Resistors) （3）厚膜电位计 (Thick Film Potentiometers) （4）厚膜压敏电阻 (Thick Film Varistors) （5） 厚膜热敏电阻 (Thick Film PTC/NTC Thermistors) （6） 厚膜介电材料 (Thick Film Dielectrics) （7）厚膜电感器 (Thick Film Inductor) 厚膜电阻 厚膜 热敏电阻 厚膜电感器 2. 薄膜和厚膜材料的发展趋势及前景 薄膜材料的制备技术发展正朝着提高薄膜质量、实现薄膜沉积过程的监控及原位检测等方向发展。 具有新的结构或组分的薄膜将不断出现，以满足新的应用需要。 薄膜制备与微电子技术的发展相结合，促进新型薄膜元器件的开发。 厚膜材料的发展将以厚膜制备技术的不断改进而得到加强。以片式结构为特征的厚膜元器件将成为电子元器件的主要形式，在未来十年得到高速度发展。 厚膜元器件的发展正向小型化、多功能化、集成化和阵列化方向发展。 参考资料 《新型电子薄膜材料》，陈光华等编著，化学工业出版社。 《薄膜物理》，曲喜新编著，上海科学技术出版社。 《丝网印刷工艺》，郑德海等编著，印刷工业出版社。 * Membrane: 隔膜，生物膜，细胞膜；（起过滤作用的）薄膜，分离膜 * ?接触角 * v：原子吸附速度；Eb：界面能量；T：绝对温度 * anode:阳极, 正极 薄厚膜材料与器件The Films and the Devices 材料科学与技术系 黄焱球 引言 问题的提出 什么是薄膜、厚膜？ 为什么要发展薄膜、厚膜及其元器件？ 薄膜、厚膜是怎么制备的？ 薄膜和厚膜的定义 薄膜（thin film)： 指采用一定工艺在一定材料（又称衬底、底材、基片）的表面涂覆厚度约为0.01至数?m的一层或多层涂层材料。一般认为，膜厚不超过1 ?m左右时为薄膜。 厚膜（thick film）： 当涂覆的膜厚大于5 ?m时，称厚膜。 薄膜 厚膜 注意两者的差异 薄膜 厚膜 不同类型的材料及其器件 大尺寸 ? 小尺寸 ? 微小尺寸 （数毫米以上） （毫米级） （微米级） 陶瓷元件 厚膜元件 薄膜元件 第一章 绪论 在信息技术发展突飞猛进的今天，作为特殊形态材料的薄膜已经成为微电子学、光电子学、磁电子学等新兴交叉学科的材料基础，已广泛渗透到当代科技的各个领域。 电子薄膜技术与电子薄膜材料的发展涉及几乎所有前缘科学，其应用领域包括：电子、计算机、磁记录、信息、传感、能源、机械、光学、航空、航天、核工业等部门。因而受到各国的高度重视。 一、引言 薄膜材料由于其在微观结构、宏观性能等方面所具有的特殊性, 在科学技术发展和人们的日常生活中发挥着越来越重要的作用。 薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的科技工作者, 而且受到各国高技术产业界的广泛关注。 薄膜材料研究已经渗透到物理学、化学、材料科学、信息科学乃至生命科学等各个研究领域, 薄膜科学已经逐渐发展成为一门多学科交叉的边缘学科。 从人类