双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棾 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽棾暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椀 棻棸 暋 暋 暋暋暋斚斻旚棶棽棸棻椀 文章编号 棬 棭 灢椆棽棿斬棽棸棻椀棻棸灢棽椄椂棸灢棻棸 暋棻棸棸棿 双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试 灣 棳 棳 赵荣丽 陈 新 李克天 暋 棬 棳 棭 广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室 广东广州 椀棻棸棸棸椂 椇 棳 暎 摘要 采用直圆型柔性铰链设计了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台 并对其性能进行了测试 基于柔性 棳 椈 铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度 推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数 建 棳 暎 棳 立了平台的动力学模型 得到了平台的固有频率解析式 基于静动态特性优化设计了双柔性平行六连杆微纳定位平台 暎 暎 得到了平台的优化参数 基于激光干涉仪和多普勒激光测振仪建立了平台的静动态特性测试系统 对微纳定位平台进 棳 椇 棷 棳 棷 棳 椈固有频率的理论模 行了试验和测试 结果显示 刚度的理论计算值为椃棶椆棽斘毺旐 试验值为 椃棶棿棿斘毺旐 误差为 椂棶椀棩 棳 棳 暎空载和加载为 暍 暍 暍 暍 时的平台位移表明加 型值为棾棿椆棶椆斎旡实验值为棾棿棽棶棽斎旡误差为棽棶棾棩 棽椀棸椀棸棸棽棸棸棸棽棽椀棸棽椀棸棸旂 棳 棳 暎 载不均匀会对平台输出位移产生较大的影响 当加载为 时 不均匀加载对位移的影响量约为均匀加载的 倍 棽椀棸棸旂 椀 棳 暎 棳 暍 暍 棳 此外 平台最大位移为 椀椂棶椀椆 旐 重复定位精度测试显示 在施加电压 椀棸棻棸棸棻椀棸斨时 定位平台在同一输入电压下 毺 暎 棳 棳 的位移最大偏差为棸棶椄椆椂 旐 实验结果表明 建立的双柔性平行六连杆的刚度和固有频率计算模型是正确的 设计的 毺