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主轴动态及热温升变形测量-至越测控
非接触传感器在机床测量应用 主轴动态及热温升变形测量 至越测控 机床精度 主 轴 机床精度大体分为三类： 动 态 – 机床几何精度（21项） 检 • 一台机床三个轴中每个轴均有6项误差，即：线性定位误差、xx及yy方向的直 测 线度误差、俯仰角、偏摆角、滚动角。这样三个轴总共18项误差，再加上每 个轴两两间的垂直度误差，则总计21项几何误差。这些误差一般采用激光干 涉仪测量。 – 机床的动态误差 • 动态误差一般包括个轴的刻度失配，伺服失配等。这些误差一般通过球杆仪 检测。 – 机床主轴热温升和动态精度 机床主轴开始运转后会产生一定的热量，这些热量会使机床主轴及各部分 温度不断升高，从而造成主轴的倾斜，直到这种热的产生和消耗达到平衡 时，机床的热温升变化才平衡。主轴热温升检测系统能够检测这些变化。 至越测控 干涉仪和球杆仪 主 轴 动 干涉仪： 态 检 定位和角向精度 测 个轴直线度 偏摆、俯仰和滚动角 垂直度 球杆仪： 伺服匹配 刻度失配 至越测控 反向间隙 周期误差 震动 主轴动态精度检测仪
主 轴 ● 工作原理 动 当两个导电面相互靠近时，两者之间即存在一种电特性—电容。电容的
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