一种基于位置敏感器相位检测的振动测量方法.PDFVIP

· 光电子 激光 第 卷第 期 年 月 · ２５ ９ ２０１４ ９ Ｖｏｌ．２５Ｎｏ．９Ｓｅ ｔｅｍｂｅｒ２０１４ 　　　　　　 　 ｐ 　 　　　　　　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＯ ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌａｓｅｒ 　 　 ｐ 一种基于位置敏感器相位检测的振动测量方法 ＊ １ ２ １ １ ， ， ， 王夏菁 郑佩祥 李 超 徐启峰 　 （ ， ， ； ， ） 福州大学电气工程与自动化学院 福建福州 福建省电力有限公司 福建福州 １． ３５０１０８ ２． ３５０００３ ： 、 摘要 针对微机械系统和精细加工技术中现有的振动测量方法存在易受电磁干扰 动态和线性范 ， （ ） ， 围窄等诸多问题 本文提出了一种基于一维位置敏感器 ＰＳＤ 相位检测的振动测量方法 通过激 光三角法将被测物体的振动信号转换为光斑在 的位置变化， 两电极输出的电流相差信 ＰＳＤ ＰＳＤ ， 号经 ＰＳＤ相位法的信号处理电路转换为与光斑位置成线性关系的直流电压信号 由此确定光斑 ， ， 。 的位置变化 进而测量物体的振动 且实时信号可以通过示波器或在上位机界面中显示 本文实 ， ， ， 、 验测量的平均相对误差为 ０．８９％ 最大误差为 １．７５％ 线性度优于 １．２％ 实现了振动的高精度 高线性度和不受电磁干扰的测量。 ： （ ）； ； ； 关键词 一维位置敏感器 ＰＳＤ 光学三角法 相位检测法 振动测量 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２９ Ａ １００５００８６２０１４０９１７６５０６ 　　 　 　 － － － Ａｖｉｂｒａｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｉｎ ｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎ ｈａｓｅｄｅｔｅｃｔｉｏｎｂ ｏｓｉｔ