显微视觉测量系统.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２２ ８ 　 ．２２ Ｎｏ．８ Ｖｏｌ 　 　 　　　　 　　　 　 　　 　　 　　　　 ｉｃ Ｏ ｔ ｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ 　 　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ １４ ８ ２０ Ａｕ １４ ．２０ 　 　 　 ｇ 文章编号 ９２４ （ ） １９８ １０ １００４ Ｘ ２０１４０８ ５ － － － 　 显微立体视觉小尺度测量系统的标定 ＊ ， ， ， ， 胡 浩 梁 晋 唐正宗 任茂栋 李磊刚 　 　 （ ， ） 西安交通大学机械工程学院 陕西西安 ７１００４９ ： 、 ， 摘要 结合透视投影模型 非参数化的光学畸变模型以及光束平差算法 提出并实现了一种标定显微立体视觉系统光路 。 ， ， 的方法 首先 通过光刻方法制作了用于显微立体视觉系统标定的标定参考物 并利用待标定系统采集标定参考物不同 。 ， ， ， 方位的图像 然后 基于非参数化的光学畸变模型 采用样条曲面计算得到显微立体视觉系统的畸变校正场 并结合透 。 ， 视投影模型建立显微立体视觉系统的完整成像模型 最后 利用光束平差算法对所建立的成像模型进行标定计算和优 。 ， 。 化调整 搭建了显微立体视觉小尺度测量装置 验证了提出的标定方法的可行性 通过标定获得了测量装置两个光路 ， 。 ， 的焦距和相对方位等参数 并借助于高精度四轴位移台对标定结果进行了精度验证 结果表明 采用本文方法标定后位 ，