激光微加工系统及其控制单元的研究.PDFVIP

《电子技术应用》 www.ChinaAET.com 嵌入式技术 /0#*..*. 1*(23-4-5+ 激光微加工系统及其控制单元的研究 邬 泳 傅 星 刘春阳 孙凤鸣 胡小唐 ! ! ! ! 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 ’ ! 999:!, ! ! 摘 要 针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展 提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的 加工系统 包括控制单元 激光器 机械结构和光路系统 在介绍了各个部分的功能之后 重点分析了 ! # ! 控制单元 包括上位机图形解析平台及以 和 为核心的下位机控制硬件 通过实验分析和算 ! -.) /)01 $ 法优化 解决了加工误差 在单晶硅表面得到了较好的微结构加工效果 ! ! $ ! % % % % 关键词 控制系统 -.) /)01 图形解析 微加工系统 中图分类号! ;)!9 文献标识码! 1 !#$% ’ ()*+, ’)-,./)+0 *%*+1 )20 .* /2,( *%*+1 = ?@AB !/ C3AB !DE *F5A ?6AB !.G /HAB I3AB !J C36@ ;6AB +.K6KH LHM D6N@O6K@OM @P )OHQ343@A IH645O3AB ;HQFA@7@BM 6AR EA4KO5SHAK4T ;36AU3A A3VHO43KMT ;36AU3A 999:! !*F3A6, #$%’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激光加 ! ! 的高 的多 工是一种研究激光与材料相互作用的技术