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爱发科NE系列开关机顺序
NE950/550EXz开关机顺序
关机顺序
1. CIR21设定在20℃，等待实际温度到达20℃。
2. cleaning程序运Flush程序运行。
3. E室，L/UL室，C室保持真空状态。 4. 易燃易爆气体管道排气。（如果没有此类气体可以省略此步） 5. CL2,BCL3管道排气。.触摸屏SHUT DOWN “START”按钮按下，等待自动关机。
“APC关闭TMP停止转速降到0干泵停止。 . 触摸屏L/UL SHUT DOWN “START”按钮按下，DRP01自动关闭
8. GPCS系统关闭，SECURITY→SYETEM END
9.电脑关闭。双击触摸屏的“SHUT DOWN”图标，再按确认钮。
10.UPS关闭
11.SYETEM OFF按钮按下。 1. 电源关闭（装置后部设备开关，及贵司施设总闸）冷却水关闭压空关闭。 。 开机顺序 1.压空打开。确认无漏压空 2. 冷却水打开，先开回水，再开进水，确认无漏水。
3.电源打开。。 4.SYSTEM ON按钮按下。 7.触摸屏Etching Chamber项：Pump Down“START”按钮按下，E室排气系统（DRP21,TMP）自动启动，E室抽真空。”按钮按下，L/UL室排气系统（DRP01）自动启动，L/UL室抽真空。加热排气管道及前阀加热器打开,shield set 200,chamber set 50℃，大约6小时。.BUILD UP确认
11.搬送动作确认. .气体压力确认。管道排气。（如果更换钢瓶的话，要注意管道排气） .CLEANING程序运行。 . condition程序运行蚀刻确认。
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