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7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 3.致密氮化硅陶瓷制备方法 高共价性的化学键使氮化硅材料具有高强度和高硬度,但给材料制备却带来了不利。 氮化硅中氮和硅原子的自扩散系数很低,只有当烧结温度接近氮化硅分解温度时(1850℃),原子迁移才有足够的速度。 用添加烧结助剂使之在高温下与氮化硅表面氧化硅反应产生液相。 用液相烧结原理,进行加压或不加压烧结。 α- Si3N4 +SO2+MxOy(添加氧化物)—β- Si3N4+M-Si-O-N液相 冷却后,此液相形成玻璃相,残留在晶界上,来制备氮化硅材料 。 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 (2)性能与显微结构。 氮化硅材料,室温强度和断裂韧性首先取决于β- Si3N4柱状晶的长径比,其次才是颗粒尺寸。 当α相转变为β相时,晶粒由等轴状转变为细长条,使强度和韧性增高,当α→β相转变完成后,就产生颗粒生长,使颗粒直径增大,导致性能下降。 高长径比颗粒能使性能改善的理由是:互相连接的长柱状颗粒能较好地抵抗裂纹的扩展,此时裂纹会发生分支、偏转、颗粒拔出。这些都使裂纹扩展所需的能量提高。 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 添加MgO的热压氮化硅 室温强度在600MPa 添加MgO氮化硅较易致密, β- Si3N4颗粒是等轴状的 添加Y2O3的热压氮化硅 室温强度在800MPa 添加Y2O3组分由于液相粘度高, β- Si3N4颗粒易沿c轴方向发育成为高长径比柱状颗粒,使强度和断裂韧性均提高。 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 (3)各种致密氮化硅制备工艺 热压烧结(HPSN)(High Pressure Sintering) 加温和单轴向或双轴向加压。 Si3N4粉为原料+添加剂有MgO、Y2O3、Al2O3 在钢模内压制成型,成型压力为50MPa, 热压炉内进行热压。热压温度:1700~1800℃, 保护气氛中进行,压力为20~30MPa。 保温、保压30~120min。 热压的制品,可根据需要进行研磨精加工。 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 加热方法:感应加热或石墨电极发热。 固体高温润滑剂(BN)涂于模壁四周与样品接触部位。 避免石墨模具与样品在高温下发生反应,样品在烧结后易于脱模 工艺特点: 样品致密,基本上达到理论密度, 制备形状简单样品 难于批量化生产 制品价格昂贵。 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 14000C高温抗折强度测试后热压Si3N4材料(SEM) 无压(常压)烧结氮化硅 较细的Si3N4粉末+添加适量的添加剂,高温下采用液相烧结的方法来获得致密化的Si3N4制品。 Si3N4难以在无压烧结时达到理论密度的主要原因:Si3N4在高温时会分解 要实现Si3N4的无压烧结,必须具备如下的条件: (1) 对Si3N4原料的要求 α相Si3N4原料,颗粒小于1μm 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 (2) 添加剂 添加剂有:MgO、Y2O3、ZrO2、La2O3、Al2O3等。 添加剂单独加入,或复合加入,复合加入的效果好 添加剂与原料颗粒表面的SiO2形成硅酸盐液相,达到烧结的目的。 (3) 烧结 素坯在0.1MPa(1大气压)N2气氛 碳管炉在1700~18000C保温数小时完成烧结 因无外加驱动力,是靠粉体表面张力作为烧结动力,须用高比表面的粉体和添加较多的烧结助剂。 7.4 结构陶瓷-氮化物陶瓷-Si3N4 ②使用Si3N4+BN+MgO埋粉的无压烧结法。 埋粉防止Si3N4的挥发 Si3N4:BN:MgO=70:20:3(或者为50%:40%:10%), 80%Si3N4+10%Y2O3+10% BN的埋粉。 高温下埋粉中的MgO在1760℃高温下挥发,渗透到坯体中与Si3N4表面上的SiO2反应生成MgSiO3低熔点液相,从而促进烧结,使坯体致密化。 ③控制保温时间。Si3N4的无压烧结有一个最佳烧结温度和保温时间,其烧结温度一般是1600~1800℃,保温时间是1~3h左右 7.4 结构陶
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