室2009年年报-教育部纳米器件物理与化学重点室-北京大学.docVIP

室2009年年报-教育部纳米器件物理与化学重点室-北京大学.doc

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纳米器件物理与化学教育部重点实验室年度报告年度重点实验室总结报告重点实验室名称纳米器件物理与化学教育部重点实验室实验室主任彭练矛副主任陈清张锦学术委员会主任解思深副主任王占国薛增泉刘忠范填报人陈清总结报告内容研究水平与贡献实验室年继续围绕基于纳米材料的纳米器件开展研究特别是在碳纳米管纳米器件和碳纳米管的可控制备方面取得了非常重要的成果结合高绝缘栅材料和顶栅结构首次在同一根单壁碳纳米管上用我们前期发展的无掺杂工艺实现了近乎完美对称的顶栅型和型器件性能接近理论极限在这个基础上用两个相邻的型和型晶体管

纳米器件物理与化学教育部重点实验室 2009年度报告 2009年度重点实验室总结报告 重点实验室名称:纳米器件物理与化学教育部重点实验室 实验室主任:彭练矛 副主任:陈清,张锦 学术委员会主任:解思深 副主任:王占国,薛增泉,刘忠范 填报人:陈清 总结报告内容: 研究水平与贡献 实验室2009年继续围绕基于纳米材料的纳米器件开展研究,特别是在碳纳米管纳米器件和碳纳米管的可控制备方面取得了非常重要的成果:(1)结合高?绝缘栅材料(HfO2)和顶栅结构,首次在同一根单壁碳纳米管上用我们前期发展的无掺杂工艺实现了近乎完美对称的顶栅n-型和p-型CMOS器件,性能接近理论极限。在这个基础

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