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第卷第期纳米技术与精密工程纳米技术与精密工程第卷第期年月一种用于制备大厚度结构层的浓硼掺杂方法孙道恒张豪尔占瞻何杰杜晓辉王凌云厦门大学物理与机电工程学院厦门摘要在器件中浓硼掺杂层通常为器件的结构层但由于受表面固溶度及浓度梯度影响该掺杂层硼原子浓度厚度越大所需的扩散时间越长为了能在同等扩散工艺条件下制备出更厚的浓硼掺杂层以满足器件要求提出了多步扩散法即在保证总的累计扩散时间不变的前提下将传统的扩散过程分为两个相对短的扩散周期并且这两个周期连续进行每个周期各包含一次预扩散和再分布与传统的两步扩散相比
DOI:10.13494/j.npe.2013.053 11 4 Vol． 11 No． 4 第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程
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