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CT培训

CT培训?设备内部培训资料杨 坤2013-9-20目录 一.设备组成 设备组成(控制图)设备组成( Loading Box) LM: Loading Machine 指设备的进舟系统 SLS:Soft Landing System 指软着陆系统,即Paddle的up/down系统 设备组成( Loading Box)设备组成( Loading Box)IN1到IN5的指示灯设备组成( Loading Box)4.Tube Closure炉门落下的感应器炉门抬起的感应器炉门moved out限位开关炉门moved in限位开关设备组成( Loading Box)炉门 开、关、进、退信号4根,1根互锁两根线,信号控制马达Door电磁阀Door on/offRDC2复位此PLC位于loading box下,共有4个,控制炉门电磁阀、boat sensor、paddle sensor。+T-w101和+B-W11多芯线到PLC设备组成( Loading Box)5.TGA SensorTGA SENSORREFLECTOR设备组成( Loading Box) 6.Lift Motor Controller Lift Motor Controller是控制LIFT电机的,LIFT一共有4种显示状态: 1.BB handing stop状态 2.pot LIFT高位 3.run RUN ok状态 4.bot LIFT低位LIFT的4种显示状态设备组成( Loading Box)连轴器,一般在lift一边倾斜时调节电机电源线编码线Lift的各个控制线+L-W511.1 W512—Encoderw1051.1- lift限速sensorW561 w562—motor driver w1011.1- arm sensor 线接入PLC颜色为绿色W333 w331电机驱动w33w32 lift正反转 W332 设备组成( Furnace )设备组成( Furnace )1.Set-upMain stack coolingStack4 coolingStack3 coolingStack2 coolingStack1 cooling设备组成( Furnace )TransformerCircuit breakerCurrent DetectorSSR’sPULG POWRREG97CESARTMM6设备组成( Furnace )2.Heating CassetteWater-cooled Heating CassetteTMM6 SpikeThermocouple设备组成( Furnace )24V电源信号指示灯下面的棕色的线接到TMM6 Spike最右端5点红灯表示5点的温度检测将PLC上棕色的线(右边单个绿灯亮的下面)拔掉,会出现excess temp alarm,在CMI界面上T-SPIKE五点的温度为3000℃,ICEPOINT温度显示问号。3000℃表示无通电,3001、3002℃表示TMM6内部故障,3003℃表示热偶无连接,3004℃表示热偶超出范围或型号不对(在TMM6里可以用一字起调节数值来改变其型号),3005℃为冰点故障,表示没有零点温度。左边的两个K-BUS,上面是输入,下面是输出,设备组成( Furnace )3. Water Leakage SensorWater Leakage SensorSolid State RelayWater Leakage Sensor:若冷却水漏水,用以检测漏水并报警提示。Solid State Relay:与RG97相连,控制加热速率。 (SSR)设备组成( Furnace )4.Power Distribution Cabinet PWM PWM上的各个信号指示灯代表Solid State Relay的工作状态,闪烁代表了Solid State Relay正处于加热的状态,并且保持恒温。设备组成( Overview Gas Cabinet )设备组成( Overview Gas Cabinet )1. Controls - all stacksstack 4stack 3stack 2stack 1设备组成( Overview Gas Cabinet )2. Controls -1CESARRG97GAS PLC设备组成( Overview Gas Cabinet )NH3压力表3. Gas Panel ISIH4压力表N2压力表N2主阀SIH4调压阀NH3调压阀N2调压阀设备组成( Overview Gas Cabinet

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