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奈米级压电致动平台
奈米級壓電致動平台 指導教授:黃世疇 學 生:陳浴祥 * * 國 立 高 雄 用 應 科 技 大 學 本文是設計一個能夠做XYΘz三自由度的精密定位平台，設計一簡單的撓性結構配合壓電致動器(PZT)，通入電壓的大小使壓電材伸縮，以達到施力的目的，驅使結構產生精密微小變形，使平台移動達奈米級5nm的位移解析度。 背景 早期:顯微鏡(STM, AFM, …) 近期:高科技產業(半導體、光電、 精密量測檥器…) 更高精密度 單層結構實現更多自由度 更長行程 微小化(不站空間) 設計方針 撓性鉸鏈 *
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