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浮封环平面度检测 昆山土山建设部件有限公司 平晶的使用 平面度误差 平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值。 2018-1-4 2 平晶干涉法 用光学平晶的工作面作为理想平面，直接以干涉条纹的宽窄、弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。 干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由计算所得的结果作为平面度误差值。 2018-1-4 3 2018-1-4 4 平晶检测浮封环 浮封环工作面（光亮带）的平面度检测，通常是利用光波的干涉效应来测量。即使用光学玻璃平晶来进行测量，属于接触式平面度测量法。 熟练者可以估读到1/10个干涉带，相当于0.03μm。 干涉原理—-等厚干涉 用平晶以技术光波干涉法检定测量面平面度时，出现的干涉条纹，其干涉原理是等厚干涉。即同一干涉条纹处在同一高度上。 干涉条纹的形状一般有直线、圆形和弧形三种。 直线形等距的干涉条纹或没有条纹说明被检工作面非常平整。 直线形不等距干涉条纹说明平面有弯曲。 圆形干涉条纹说明被检工作面为球面，圆心为工作面的中凸或中凹的中心点，判断凹凸的方法是用手轻压平晶中央，如干涉条纹向内跑即为中凹，向外跑即为中凸。 2018-1-4 5 使用光源 光波干涉法使用的光源常采用单色光源，单色光源所产生的干涉图形较为清晰。 2018-1-4 6 准备与检测 清除被检测的浮封环和平晶表面上的纤维、颗粒、油渍、水汽等污物。 确认密封环端面无损伤。 将平晶工作面轻放在浮封环工作面上，并使两者紧密接触，出现干涉带。 判读光谱带数时不使其受到其它附加外力。 观察干涉图形，判读干涉光谱带。 2018-1-4 7 平面度的测定值 平面度的计算如下式： 式中： Δ—平面度的测定值，单位为μm。 N—干涉光谱带数； λ—单色光波波长，单位为μm。 单色纳光光波波长为λ=0.6μm。一条光带时，Δ为0.3μm，即平面度为0.3μm。 2018-1-4 8 平面度的判读（图形见后4页所示） 对于浮封环光亮带来说，上面两个图形为平晶一侧接触浮封环开始，两者从楔形到非常接近中所形成干涉图形。 下面4个图形是两者正常接触后形成的干涉图形，反映不同的平面状态。 左边完整的干涉条纹说明光亮带整体凹下或凸起，只是凹凸量不一样。 其余三个为光亮带平面单纯弯曲和平面不完全。 2018-1-4 9 常见干涉光谱带 —- 一条光带 2018-1-4 10 常见干涉光谱带 —- 两条光带 2018-1-4 11 常见干涉光谱带 —- 三条光带 2018-1-4 12 常见干涉光谱带 —- 多条光带 2018-1-4 13 检测装置结构示意 2018-1-4 14 箱体 隔光板 浮封环 平晶 带开孔 活动板 活动门 玻璃镜 毛玻璃 电源 稳压器 钠光灯管 干涉条纹与间隙的关系 干涉条纹是弯曲的，表明被测表面不平，干涉条纹的弯曲程度表示了该表面不平度的大小。 判断被测表面是凸形还是凹形的方法是：当接触线（平晶与被测件接触处）在干涉条纹所形成的弯曲弧线里边时，则表明该表面是凸形的（见后图左2）；倘若在外边，则表明该表面为凹形的（见后图左3）。 2018-1-4 15 干涉带疏密与间隙的关系 干涉条纹识别 各种不同的平面形状所反映出来的条纹状态。 2018-1-4 16 浮封环光亮带合格判定标准 待制定 正常情况下（表面粗糙度符合要求）判断出现： 无干涉条纹——平面平整 直线干涉条纹——平面弯曲 圆形干涉条纹——平面凹凸 手压平晶中心，干涉条纹内移——平面凹 手压平晶中心，干涉条纹外移——平面凸 条纹不规则——平面凹凸不平（如四页图示中的右下角图所示） 合格判断标准待定 2018-1-4 17 2018-1-4 18 谢谢关系本资料 制定标准很重要