太阳能电池用透明导电AZO薄膜的研究.docVIP

编号： 　　　 本科毕业设计（论文） 题目：（中文）太阳能电池用透明导电AZO薄膜的研究 （英文）Research of transparent electric conduction AZO thin film for solar cell uses 学 院 信息科学与工程学院 专 业 通信工程 班 级 通信072 学 号 074100723 姓　名 龚力 指导教师 徐键 职称　教授 完成日期 2011年5月20日 诚 信 承 诺 我谨在此承诺：本人所写的毕业论文《太阳能电池用透明导电AZO薄膜的研究》均系本人独立完成，没有抄袭行为，凡涉及其他作者的观点和材料，均作了注释，若有不实，后果由本人承担。 承诺人（签名）： 龚力 2011年 5 月 20日 太阳能电池用透明导电AZO薄膜的研究 摘　要 【摘要】本用溶胶凝胶法制备氧化锌掺铝（AZO）的透明导电薄膜并进行薄膜的性能。实验中采用紫外-可见分光光度计（UV-Vis）、拉曼光谱和电阻测试装置，研究了Al的掺杂量、退火温度以及薄膜层数等实验参数对薄膜光电性能的影响.通过数据对比和分析确定了本实验中最佳的AZO薄膜的制备方案。 【关键词】AZO导电薄膜；溶胶凝胶法；光谱分析。 Research of transparent electric conduction AZO thin film for solar cell uses Abstract 【ABSTRACT】The transparent electric conduction AZO thin film for solar cells have good electro-optical characteristics,stable chemistry and physical property .It may widely apply in the photoelectric detection, the sensor and the optical communication domain. This article is about the preparation of zinc oxide mixes the aluminum (AZO) transparent conductive film by sol-gel method. The samples are investigated by UV-vis,laman spectrum and resistance testing device.we study about the Al doping quantity ,annealing temperature what influences the electro-optical performance of AZO transparent conductive films.Finally we has determined the best AZO thin film preparation plan in this experiment by data contrast and analysis. 【KEYWORDS】AZO conductive film ；Sol-gel method；Spectral analysis . 目　录 摘　要 II Abstract III 目　录 IV 1 引言 1 1.1 透明导电薄膜 1 1.2 透明导电AZO薄膜的研究现状和应用前景 1 1.2.1 透明导电AZO薄膜的研究现状 1 1.2.2 透明导电AZO薄膜在通信工程中的应用前景 1 1.3 AZO薄膜的基本结构和光电特性 1 1.3.1 AZO薄膜的基本结构 1 1.3.2 AZO薄膜的光电特性 2 2 实验部分 3 2.1 实验原料和仪器设备 3 2.1.1 实验原料 3 2.1.2 实验仪器设备 3 2.2 基片和实验仪器预处理 3 2.2.1 基片的选择 3 2.2.2 基片的清洗 3 2.2.3 基片的干燥 4 2.2.4 实验仪器的预处理 4 2.3 薄膜的制备方法 4 2.4 溶胶凝胶法 4 2.4.1 溶胶凝胶法的特点 4 2.4.2 溶胶凝胶法的基本原理 5 2.4.3 溶胶凝胶法的工艺过程 5 2.5 溶胶凝胶的制备