采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器地测角精度和分辨率.PDFVIP

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2017-11-27 发布于江苏
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采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器地测角精度和分辨率

9 3 Vol . 9 , No . 3 2 0 0 1 6 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Jun , 2 0 0 1 1004924X( 2001) 孔智勇, 赵红颖, 熊文卓, 艾华 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130022) : , ( ) ; ; , : 光电轴角编码器; 激光编码器; 衍射干涉 : TN366 : A 1 引言 , , , , , , , , , , , , : ; , , , , , , , , 2 国外激光编码器的发展概况 [ 2] , [ 1] , , , , , , , , , , , : : : 3 , : 261 , , , 2 ( , ) , 1 480000 ,