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卧式板型直线超声电机的微型化-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ４ Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．４ Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 年 月 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ４ Ａ ｒ．２０１０ ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００４０８８７０６ 卧式板型直线超声电机的微型化 李朝东，何晓菁 （上海大学 机电工程与自动化学院，上海 ２０００７２） 摘要：基于 Ｌ１Ｂ４板型直线超声电机，研制了一种外型尺寸为 ３６ｍｍ×５ｍｍ×４ｍｍ的卧式板型微型直线超声电机。论 述了电机的工作原理和运行机理，使用解析法和有限元法进行了微型化结构设计，分析了定子的振动模态，并实现了频 率简并。通过模拟压电激励的动态频率响应，对比了样机的 片压电陶瓷布置方案和常用的两片压电陶瓷布置方案的 ５ 共振位移响应曲线，证实了采用 片压电陶瓷布置方案增大了输出端点处产生的振动位移。样机特性测试实验表明，当 ５ 激励信号电压为 ，频率为 时，电机最大速度为 ／，输出推力为 。预期该电机可以用于电 １５０Ｖ ６２ｋＨｚ １８３．７ｍｍ ｓ ５０ｍＮ ｐｐ 机安置空间比较狭窄且需要一定动力的直线驱动场合。 关 键 词：直线超声电机； 振动模态；微型电机 Ｌ１Ｂ４ 中图分类号： 文献标识码： ＴＭ３５ Ａ 犕犻狀犻犪狋狌狉犻狕犪狋犻狅狀狅犳犫狅犪狉犱狋 犲犺狅狉犻狕狅狀狋犪犾犾犻狀犲犪狉狌犾狋狉犪狊狅狀犻犮犿狅狋狅狉 狔狆 ， ＬＩＣｈａｏｄｏｎ ＨＥＸｉａｏｉｎ ｇ ｊｇ （ ， 犛犮犺狅狅犾狅 犕犲犮犺犪狋狉狅狀犻犮狊犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犪狀犱犃狌狋狅犿犪狋犻狅狀 犳 犵 犵 ， ， ） 犛犺犪狀犺犪犻犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犛犺犪狀犺犪犻２０００７２ 犆犺犻狀犪 犵 狔 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋ＯｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆｒｅｓｅａｒｃｈｏｆＬ１Ｂ４ｂｏａｒｄ
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