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2018-08-19 发布于天津
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高功率激光精密小能量测量系统研究

第卷第期中国激光， V ’ \@J R 1V B@ R ’ 年月， !! ’ 809BWQW EZ3B1= Z[ =1QWQ ]5,L? !! 文章编号：（） !#$%!# !! !’%!(%!) 高功率激光精密小能量测量系统研究于天燕，蔡希洁，刘仁红，唐立家，毕纪军，林尊琪（高功率激光物理国家实验室，中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 !*$!! ）提要介绍了用于神光装置路功率平衡的全自动精密小能量测量系统，并用自动控制半波片衰减装置对其性 ! $ 能进行了测定。系统稳定性精度优于（），量程可达三个量级范围。 *+ ,-. 关键词功率平衡，小能量测量，半波片衰减器，高精度探头，通道开关中图分类号 /0 )* 文献标识码 1 !#$% ’ () *+),-.-’ /’)+0% 1)2.#+)3)’ !%.)3 4+ 5-0( *6)+ 72.)+ ，，，，， 23 /456%756 819 :4%;4 =93 6%?@6A /1BC =4%;45 D9 E4%;F6 =9B GF6%H4 （， !#$%’ ()%*#%*+ % ,$-. /%01* (21* /.+2$32 4.-.$ 52#$#6#1 %7 89 #$32 : ;$1 13.$32 ，，） =.1 .$121 ?3:1@+ %7 43$1312 4.-.$ !*$!! ， 89.+2, 1 IFJJ%5FK@-5K4L M,L4.4@6 6,A7 -5.F,-6K .7.K- @6 .-5JJ .4A65J N5. O.L,4PO 46 OK54J N?4L? N5. F.O I@, 4A?K P5-.’M@N, P5J56L 46 Q?6AF56A !R 16 5..-PJ7 5KK6F5K@, @I ?5JI%N5S MJ5K 56O M@J5,4T,. 4. F.O K@ L?LU FM K? （） M,I@,-56L @I K? .7.K- R /? M,L4.4@6 @I .K5P4J4K7 M,LO. *+ ,-. R 16O K? -5.F,46A ,56A L@S,. K?, -5A64KFO. R 9K 6J5,A. K? -5.F,46A ,56A @I K? @,4A465J -5.F,-6K I5L4J4K7 @I Q?6AF56A !R ，，，， :)% 6+$. M@N, P5J56L .-5JJ 6,A7 -5.F,-6K 5KK6F5K@, @I ?