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退火温度对二氧化钛薄膜的性能影响-光学仪器
第 卷 第 期 光 学 仪 器 年 月 文章编号 退火温度对二氧化钛薄膜的性能影响 潘长锦张大伟王 健卢忠荣 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院上海 摘要为了获得性能优良的二氧化钛薄膜采用电子束蒸发沉积方法制备二氧化钛薄膜并分别 在 空气中对样品进行退火处理以改善所制备二氧化钛薄膜的性能分别采用 射线衍射 原子力显微镜 以及分光光度计研究了退火温度对二氧化钛薄膜结构 和光学性能的影响结果表明退火处理可以使二氧化钛薄膜由非晶态薄膜转换为金红石型薄 膜且金红石晶型成分随退火温度的加大而增大同时退火处理可以改善二氧化钛薄膜在 光谱范围的总吸光率以及增大二氧化钛薄膜的应用范围 关键词二氧化钛薄膜退火温度 射线衍射 原子力显微镜 透射率 中图分类号 文献标志码
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