太阳能多晶硅铸锭简介.pptVIP

手动操作打开下炉腔升降控制屏，提升下炉腔。下炉腔开始向上移动，逐渐加速至最大速度35cm/min，在触发上不加速限位后，速度降为5cm/min，触发上限为后，下炉腔停止，最大速度禁止超过40cm/min（严禁！！！） 上下炉腔闭合后，锁住下炉腔到上炉腔的4个安全卡子。 在《铸锭炉跟踪单》上做好记录，打扫铸锭炉周围的卫生。 3）程序运行过程 加热---熔化---生长---退火---冷却 加热 加热区，程序第一段是一个默认步骤，不能通过配方改变，该段的作用是对加热元件预热，隔热层从38m降至零位，如果归零出现问题，系统自动弹出报警。 熔化 熔化是将固体硅转化成液体硅，温度最高可达1560度，是温度最高段，应提起特别重视 在第十段，熔化结束，出现报警，弹出熔化是否完成的确认窗口，发出警告。出现第一个报警后，点击“Cancel”,之后由操作者在中心观测孔观测是否融化完成，连续观测3-5分钟，若没有硅料固体出现，点击“Agree”，程序方可继续运行。 生长 此阶段为长晶阶段，观察隔热层丝杠位置确人升降系统是否正常工作。在第六段剩余3小时，会发出报警声，弹出透顶确认窗口，此时操作者应在中心观察孔观察是否透顶，确认透顶后，点击“开始延迟”，延迟时间设定在主参数屏幕上，延迟时间一般是15-60分钟，延迟完成后自动跳至下一段。 退火 隔热层下降至零位，温度降至1370度恒温，开始退火处理。 冷却 冷却运行11小时左右，整个硅锭循环结束。 注意： 在铸锭过程中由几个关键点：熔化报警、透顶报警、长角报警。整个铸锭循环过程中，如果熔化和生长前期阶段发生异常，将是设备处于非常危险状态，必须予以严密关注。 各阶段均要认真填写《铸锭炉运行记录表》，出现异常，应立即汇报技术员处理。 程序运行结束后，屏幕自动跳出是否保存本次运行记录功率曲线，如果此次运行正常，则保存；否则不保存。 如果炉腔内压力低于980mbar，则需对炉腔充气。回填操作时，炉腔内压力超过980mbar后回填操作一般会自动停止。如未自动停止，则需手动停止。 当程序运行结束时，弹出移走下炉腔卡子的警报窗口，依次打开四个炉腔卡子后点击“YES”进入下炉腔升降控制屏。 手动操作下炉腔与上炉腔分理。 注意： 此时整个下炉腔是靠三个支柱的橡胶垫支撑，这是连接丝杠不再起承重作用，如果丝杠仍承重，下炉腔则要调整。在升降过程中，不能有外力影响下炉腔升降，仔细观察下炉腔的运行状态，如发现下炉腔大幅的摆动和上下限位异常，应及时通知技术员。 使用装卸料叉车，升起叉臂，使之高于炉腔法兰盘1-2，小心驾驶叉车，进入炉腔下边的导轨，当叉臂到达适合位置（叉臂后左右居中于坩埚石墨板）后，升起叉臂托起坩埚支撑板，直到触发上限位开关。 除叉车驾驶者之外，要有一名员工时刻关注叉的前端和西侧，防止平大盘坩埚支撑板 或DS块。放置碰破坩埚或碰损DS块。 快速从铸锭炉中推出叉车，降叉臂吧坩埚放到运输小车上，放到指定位置，使硅锭自然冷却。出炉时硅锭温度仍然在400度左右，小心烫伤，在坩埚未碎裂之前应尽量远离，防止坩埚碎屑崩出伤人。 5）硅锭卸载 ⑴ 当温度表面温度低或出炉4小时，卸下石墨板，取走硅锭。 ⑵ 用天车和夹具把规定放入规定存放架子上 ⑶ 在硅锭上标记规定编号及重量。 ⑷ 检查硅锭的表面质量情况并给予记录，填写工艺流程卡。 ⑸ 注意必要时在整个运输和拆卸过程中，在口罩，穿防护服，以免烫伤。 ⑹ 收拾工具和清理现场卫生，认真填写《铸锭炉跟踪单》。 ⑴硅锭出炉后，局部温度过高可能导致自动爆炸飞溅碎片伤及人身，所以必须远离刚出炉的硅锭。 ⑵硅锭出炉后温度有400度左右，防止被硅锭烫伤。 ⑶取出硅锭时要慢升慢降。 ⑷铸锭炉底部严禁站人。 ⑸发生泄漏报警后，按操作规程处理。 ⑹确保冷水机房和配电室保持联系 ⑺真空泵要24小时运行，清洁真空泵时要小心，防止抹布缠入主轴。且不要用力泵体的驱动电机。 ⑻定期清洗真空泵过滤网。 ⒈铸锭炉停水事故 冷却水供应为铸锭炉安全运行之根本，一旦发生冷却水供应不足或停止供应事故，必须有备用水源切换至铸锭炉冷却水管路，以保证设备安全，冷却水流量低于设定正常运行要求时，铸锭炉会自动切断加热电源，当冷却水供应短时间内不能恢复时，必须执行紧急停炉处理。 ⒉铸锭炉停电事故 冷却水将从冷水机房的水泵供应自动切换到备用电源供应消防水，要尽力保证！！！ ⒊铸锭炉停气事故 压缩空气出现故障时，以氩气代替压缩空气供应给铸锭炉；当氩气供应出现问题时，需执行紧急停炉处理。 ūīó 四探针电阻率测试仪：首先打开电源观察显示屏是否可以正常显示数字，以此判断电源线是否连接正常。然后用标准