固体浸没透镜高密度光存储系统的焦深-光学精密工程.PDFVIP

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第 卷 第 期 光学 精密工程 14 3   Vol.14 No.3              O ticsandPrecisionEnineerin          年 月   p g g 2006 6 Jun.2006       文章编号 ( ) 1004924X200603035604   固体浸没透镜高密度光存储系统的焦深 张耀举,陈俊峰 (温州大学 物理与电子信息学院,浙江 温州 325027) 摘要:基于矢量衍射理论,分析和比较了两种等光程的半球形( )和超半球形( )固体浸没透镜的光场分布,计算 hSIL sSIL 了 种材料(玻璃, , ,金刚石) 的焦深和光斑大小。结果表明:当数值孔径相同时, 的焦深较 的焦 4 SiGaP SIL hSIL sSIL 深大,焦深对 SIL的折射率比较敏感,而光斑大小对波长照明比较敏感。hSIL的焦深随透镜数值孔径的增加迅速单调 减小,而 sSIL的焦深随透镜数值孔径的增加呈现出只一个周期的振荡行为。sSIL对透镜的数值孔径要求较低,它更 适合应用于高密度光存储和精密光刻。 关 键 词:固体浸没透镜;高密度光存储;焦深     中图分类号: ; 文献标识码: TH703TP333.4 A    犉狅犮犪犾犱犲狋犺犻狀犺犻犺犱犲狀狊犻狋狅狋犻犮犪犾狊狋狅狉犪犲狊狊狋犲犿狑犻狋犺犪狊狅犾犻犱犻犿犿犲狉狊犻狅狀犾犲狀狊 狆 犵 狔狆 犵 狔 ZHANGYaouCHENJunfen j g ( , , , ) 犆狅犾犾犲犲狅 犘犺狊犻犮狊犪狀犱犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀 犠犲狀狕犺狅狌犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犠犲狀狕犺狅狌325027 犆犺犻狀犪 犵 犳 狔 犳 狔 : ( ) 犃犫狊狋狉犪犮狋Theoticalfielddistributionsfortwot esofalanaticSolidImmerisionLensesSILs of p yp p ( ) ( ) hemishere hSIL andsuershere sSIL wereanalzedb usin thevectordiffractiontheor. p

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