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第 卷 第 期 光学 精密工程
14 3
Vol.14 No.3
O ticsandPrecisionEnineerin
年 月 p g g
2006 6 Jun.2006
文章编号 ( )
1004924X200603035604
固体浸没透镜高密度光存储系统的焦深
张耀举,陈俊峰
(温州大学 物理与电子信息学院,浙江 温州 325027)
摘要:基于矢量衍射理论,分析和比较了两种等光程的半球形( )和超半球形( )固体浸没透镜的光场分布,计算
hSIL sSIL
了 种材料(玻璃, , ,金刚石) 的焦深和光斑大小。结果表明:当数值孔径相同时, 的焦深较 的焦
4 SiGaP SIL hSIL sSIL
深大,焦深对 SIL的折射率比较敏感,而光斑大小对波长照明比较敏感。hSIL的焦深随透镜数值孔径的增加迅速单调
减小,而 sSIL的焦深随透镜数值孔径的增加呈现出只一个周期的振荡行为。sSIL对透镜的数值孔径要求较低,它更
适合应用于高密度光存储和精密光刻。
关 键 词:固体浸没透镜;高密度光存储;焦深
中图分类号: ; 文献标识码:
TH703TP333.4 A
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