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第19卷第7期2007年7月强 激 光与粒 子 束HIGHPOWER ANDPARTICI。EBEAMSV01．19，No．7Jul．，2007文章编号： 50一44¨一70)7子孔径拼接技术在大口径高陡度002(2234非球面检测中的应用。一lOol 军学张，2“杰伟邓，1林栋薛，1功立郑，2’1辉丽王，2“坤孝王 管，能有效降低系统的位移变形量。结台系统不同的设计要求，通 (L中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春130033}2．中国科学院研究生院，北京100039) 过改变波纹管的厚度来改变波纹管连接的刚度。 摘要：为了能够精确地完成对大口径高陡度非球面在细磨和抛光过程中的测量．提出了一种将子孔径 拼接技术和补偿毳基泔蠹嘉嚣篇鉴孽垂．等丢童薹萎冀喜誊莺翟遐；零囊童}l等萋轿拳是冀÷毒暑毽馨蒂蠖萋 参考文献： 薷裂=毖誉型窜篓霎一季誊蘑系交≤；l生而叫i点*基萎莩台豢磊型藿霉妻垂姜耋羹÷誊薯羹蠢州霉引入波纹 L [1]李良珏，王世瑶，李银拄 J， sF，LtYz，et offocaI oflensc50f nlterIn wang a1．nesig“and—sure唧tlenzth large}numberusedIⅡ5patlal Iligh c^lnPsPJ 1080) la5ersystcmo，L口5en，1996，23(12)t1077 L [2]夏兰，钱列加，王世绩．高能飞秒激光系统中空问滤波器的研究和设计[J]．强激光与粒于柬．2003．1s(1)；14．(XlaL，QianJ，wangs nof nherjn J．studya甜desigspatial p。werfemt08econdIaser high [3]工桂英．赵九掉，张明科， al Basic nlterusedlnNd JY，zhangMK，et8tudyonspatial glassh嘻hpowerlasersystem．Ac￡口P^，5￡c4s洲rn，1085t L， So嘲sc sPIE1997，3047；549— [4]TIetbohlG sLaMHtyd商gncons讨eratjonsf。rmi删supp。nsy叶蛆1s抽IcFlascrs[c]／／Proc。f 66乱 [5]T㈣merDJ，F of area sPIE．1999，3492l363—371 oleyRJ，sh8wG曼stabilityopt▲calel锄entsintheNIFtargetbunding[c]／／P㈣f [6] J HB，et z曲gTY．zhuQ，Hu8ng a1．stabll】‘yanalys诂ofoptomechanlcal5y5t㈨nsGⅡfad】lty[c]／／P㈣f z [7]乔战峰，赵东峰，
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