微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计-华侨大学学报自然科学版.pdfVIP

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微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计-华侨大学学报自然科学版

224 ( ) Vol. 22No. 4 200110 ( ) . 2001 Journal of Huaqiao University Natural Science Oct 1000-501 (2001) 04-0 80-05 李 文 望 ( , 61005) . Brow nian , . . , . , , , . , , + 824 . 01 TH A , ( MEMS) . . , . 1 1. 11, 2 -- . , . 1 . x , 1 , y , y . mx + cx x + kx x = F0sint , ( 1) my + cyy - 2m x + ky y = 0, ( 2) , x , y , , x , y , . m c c x y k k x y 2001-07-04( 1962-) , , ; 4 : 81 , ( 1) ( 2) x ( t) = - x mcosx t , 2m x x m sin( x t - ) y ( t) = , ky 2 2 2 { 1 - ( x / y ) } + ( x / y ) F0Qx - 1 ! x mx my x m = , = tan 2 , != , Qx = , Qy = . x y x y k Qy ( 1- !) c c 1. 21 , . , , . , y x c c x c c 0 mx + (c - c ) x + c y + (k - k ) x + k y = F sint, my + (

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