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飞秒激光微加工中轴向超分辨相位板的的设计及仿真
第 卷 第 期 应 用 光 学
年 月
文章编号
飞秒激光微加工中轴向超分辨相位板的设计及仿真
蔡建文
常州工学院 光电工程学院 常州 常州现代光电技术研究院 常州
常州市光电子材料与器件重点实验室 常州
摘 要 为了提高激光微加工质量 对激光焦斑进行整形 采用菲涅尔衍射公式进行了理论分
析 基于遗传算法和设计约束条件通过 设计了两种二元相位元件 结构四环相位板
的归一化半径尺寸 非 结构四环相位板的归一化半径尺寸为
从内到外各环对应的相位为 采用这两
种位相板调制后的纵向光斑大小可压缩至艾丽斑的 和 峰值能量比分别为 和
旁瓣能量分别为 和 这两种相位板均可应用于飞秒激光微加工
关键词 微加工 轴向超分辨 相位板 飞秒激光 优化算法
中图分类号 文献标志码
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