纵向型双电离室ΔE-E探测器系统及其在ERD的分析中的应用.pdfVIP

　第34卷第2期 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 34 ,No. 2 　2000年3月 Atomic Energy Science and Technology Mar. 2000 Δ 纵向型双电离室 EE 探测器系统 及其在 ERD 分析中的应用 符长波 ,路秀琴 ,赵 　葵 ,梁 　刚 ,郭继宇 ,李淑媛 ,刘建成 ,姜 　华 ( 中国原子能科学研究院 核物理研究所,北京　102413) Δ ( ) 摘要 :设计加工了一套纵向型双电离室 EE 气体固体 探测器系统 , 由于采用了双电离室及电场 12 Δ 均匀技术 ,得到较好的能量分辨率 :利用 503 MeV 的 C 在束测量 , E 分辨率达 33 % , Er 分辨 率达 15 % 。利用该系统对新型半导体材料 GaAs 、新型光电材料 GaN 等进行 ERD 分析 ,得到了 ( ) 材料的元素深度分布谱 分辨达 50 nm ;在该系统和 Q3D 磁谱仪配合测量中 ,得到深度分辨达 1 nm的深度分布谱。 Δ 关键词 纵向型 ;双电离室 ; EE 探测器 ; ERD 分析 : 中图分类号: TL811 + 1 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 (2000) Δ EE 型望远镜已成为离子鉴别的最常用的工具。根据收集电荷的电场方向与入射带电 Δ Δ 粒子飞行方向的关系 ,可把 EE 望远镜分成纵向型和横向型 2 种。在 EE 望远镜中 , 因气 Δ 体探测器的厚度均匀性较好 , E 一般采用 气体电离室。纵向型望远镜是 1982 年由 Zurmuhle 和 Csihas[1 ] 提出 ,后又由有栅极型 改进为更简单的无栅极型。由于其结构简 单、消除边缘效应较好等特点 ,获得了广泛 的应用。 Δ 1 　纵向型双电离室 EE 探测器系统 的结构 Δ 纵向型双电离室 EE 望远镜的示意 Δ 图 1 　纵向双电离室 EE 探测器结构示意图 图示于图 1 。其主体用不锈钢圆筒制成 ,尺 Δ Fig. 1 　The structure of EE telescope with longitudinal 寸为 20 mm ×86 mm 。前窗封以 15 μ m doubleroom ionization chamber 的镀铝 Mylar 膜。窗前用丝网加强 ,增加承 收稿日期 ;修回日期 ( ) ( ) 基金项目 : 国家自然科学基金 及核工业科学基金 7196A0113 资助项目 ( ) 作者简介 :符长波 1974 — ,男 ,河南南阳人 ,实习研