沉墨的猫：超纯水系统保养作业大全.docVIP

超纯水系统保养作业大全 修定日期：2004-8-18 目的 确保纯水系统设备保养，满足生产需求。 范围 集成电子公司所有使用超纯水系统设备。 职责 由动力部负责。 内容 4.1 保安过滤器滤芯更换 4.1.1 工具准备：19mm钣手 2-4件。 4.1.2 材料准备：过滤滤芯( 5μm 40 PP喷溶材质） 21支 4.1.3 先排尽保安过滤器内积水。操作：关闭保安过滤器前后管道阀门，打开保安过滤器底部排污阀，排放积水。 4.1.4 卸掉保安过滤器盖板螺栓，松卸保安过滤器出水管上活节，将盖板和密封垫取下放置好，注意保护密封垫圈的完好和干净。 4.1.5 将滤芯整体取出，更换滤芯。 4.1.6 将保安过滤器内壁放水清洗干净后，将新更换的滤芯放置好，盖上密封垫和盖板，拧紧螺栓和活节。充水试验不漏水。 4.1.7 保养作业用工用时：3人；40~60分钟。 4.1.8 注意事项 4.1.8.1 更换过程要注意卫生清洁，防止滤芯受到污染。 4.1.8.2 更换新滤芯时，注意防止塑料穿心螺杆因用力过大而滑丝不能锁紧。 4.1.8.3 为防止滤芯在运行中脱落，底部螺母要保证连接可靠（多拧几圈）。 4.2 膜过滤器滤芯更换 4.2.1 工具准备：19mm钣手 2-4件。12-14mm钣手1-2件。 4.2.2 材料准备：膜过滤滤芯( 0.1μm 40 插入式） 19支 4.2.3 先排尽膜过滤器内积水。操作：关闭膜过滤器前后管道阀门，打开膜过滤器旁侧排污阀，排放积水。 4.2.4 关闭超纯水压力报警，拆卸盖板上电接点压力表报警接线并包扎好。拆卸掉膜过滤器盖板螺栓，将盖板和密封垫取下放置好，注意保护密封垫圈的完好和干净。 4.2.5 拆卸滤芯压盖螺栓，取出压盖，将滤芯一一取出，更换上新滤芯，锁紧压盖。 4.2.6 盖上密封垫和盖板，拧紧螺栓。充水试验不漏水。还原超纯水压力报警线路。 4.2.7 保养作业用工用时：2人；40~60分钟。 4.2.8 注意事项 4.2.8.1 更换过程要注意卫生清洁，防止膜滤芯受到污染。 4.2.8.2 注意检查新的滤芯底部的O形圈配合是否适当，如滤芯插入安装后感觉比较松，应更换O形圈。 4.2.8.3 当新滤芯头部与其压盖不相配时，可对滤芯略加加工。 4.3 淡水桶消毒清洗 4.3.1 工具准备：干净的棉纱拖把2把，50升塑料桶2个，塑料撮箕2个， 1000mL量杯1个，长袖胶手套2双，护目镜2副，长雨靴2双，铝合金梯1架。 4.3.2 材料准备：双氧水（分析级，30%~32%，4公斤/瓶）1瓶，淡水，无尘布 4.3.3 保养要求：用 1~2%浓度双氧水清洗液擦拭桶壁进行消毒清洗，再用淡水清洗干净。 4.3.4 停止纯水制备，关闭两台淡水泵进出水阀门，打开淡水桶排水阀，将淡水桶淡水排放干净。 4.3.5 用50升塑料桶加入淡水及以上级产品水，再用量杯加入双氧水1.5~3升，配制浓度为1-2%的清洗液。 4.3.6 带好长袖胶手套，穿好雨靴，戴好护目镜，用干净的棉纱拖把浸双氧水清洗液后，由上至下，擦拭桶壁3遍。 4.3.7 开启RO机组制淡水，对淡水桶内壁进行清洗2-3遍。 4.3.8 保养作业用工用时：2人；90~120分钟。 4.3.9 注意事项 4.3.9.1 双氧水本身是一种强氧化剂。作业时，要穿戴好防护用品。若皮肤与双氧水有直接接触，要马上用清水对接触的皮肤进行清洗。 4.3.9.2 作业用工具，在进入桶内前，要用产品水清洗干净。 4.3.9.3作业时，一人在桶内，一人在桶外配合，防止桶内人员发生意外。 4.4 DI水管道消毒清洗 4.4.1 工具准备：长袖胶手套2双，护目镜2副，长雨靴2双，铝合金梯1架，钣手（17mm）2把。 4.4.2 材料准备：双氧水（分析级，30%~32%，4公斤/瓶）13瓶，纯水，无尘布 4.4.3 保养要求：配制配制1.5吨1~2%浓度的双氧水清洗液擦，对DI水管道和纯水桶进行运行消毒清洗，再用纯水清洗干净。 4.4.4 配制清洗液：停止纯水制备，纯水桶加入纯水约1.5吨。加入双氧水配制浓度为1-2%的清洗液。 4.4.5 退出精混床：关闭精混床进出水阀，关闭纯水泵到纯水桶的总回水阀，打开精混床到纯水桶的回水阀，使清洗液直接流经紫外线杀菌器到管道。 4.4.6