残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响-物理试验杂志.PDFVIP

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2017-09-04 发布于天津
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残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响-物理试验杂志

第卷第期物理实验．３５Ｎｏ．４３５４Ｖｏｌ　　　　　　　　　　　　　　　　　　年月ＰＨＹ，ＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ　　Ａｒ．０１１５４５２０２　　　　ｐ櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响，，吴聪刘晓洋张家良　（，）大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室辽宁大连０２４１１６：，、／，摘要使用残余气体质谱分析仪分别以空气空气氩气混合气体为样品研究了质谱仪的进样输运效ＱＭＳ２００　　　－／，，应利用空气氩气混合气体作为标准样品进行了质谱峰强对浓度的标定获得了分析仪对残余空气定量分析的标定．：，、，关系研究发现由于输运过程注入样品由于不同成分的输运速率排空速率不同样品不同成分在质谱仪内的量与其．原始物质的量有所不同．：；；关键词残余气体分析仪输运效应质谱峰强中图分类号：文献标识码：