片上螺旋电感集总模型中衬底因子的分析与拟合 extraction and analysis of substrate parameters in on-chip spiral inductor lumped model.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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片上螺旋电感集总模型中衬底因子的分析与拟合 extraction and analysis of substrate parameters in on-chip spiral inductor lumped model.pdf

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片上螺旋电感集总模型中衬底因子的分析与拟合 extraction and analysis of substrate parameters in on-chip spiral inductor lumped model

第32卷第3期电子器件 v01．32No．3 OfElectronDevices 2009年6月 Chine∞Joumal Jun．2009 Extractionand ofSul】strateIXamlmtersin InductorI Spiral A咽lysjs On-Oflp J州Model。 CHEN Dawei，SHI Xi，WANG Yanling。，LJ Peng，LIUJing，DINGy口知ng E．E．，EastChinaNormal 200062，China) (Departmentof University，Shanghai Abstract：Inductorson as or highresistivitysubstrate，such quartzhighresistivity get better Qfactorthanthoseonlow substrate．Thatmakesit toresearchthesubstrate resistivity necessary influenceon this elementmodelfor inductoris thatin— inductors．In paper，alumped on-chip presented cludesskinand electricand lossesat effects，substrate proximity magnetic high—frequencyrange．Thispro— modelhasbeenverifiedbothwiththesimulationresultsofinductorson substrateandSOI posed quartz substrateandwith the resultsof inductorswithvarious experimentalsquare geometricalconfigura— spiral tionson siliconsubstrate．Theseallshow underself-resonance high-resistivity goodagreements frequency． Thismodelcanbe usedincircuitsimulationsand easily optimizationdesign． Keywords：on-chip model；substrate effectand effect spiralinductor；lumpe