扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析 characteristic analysis on dynamic response of a micro-actuator with torsion beam using electrostatic actuation.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析 characteristic analysis on dynamic response of a micro-actuator with torsion beam using electrostatic actuation.pdf

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扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析 characteristic analysis on dynamic response of a micro-actuator with torsion beam using electrostatic actuation

光电子·激光第卷第期年月 Vol.17 No.6 Jun.Z006 17 6 Z006 6 JOurnalO O tOelectrOnics Laser f p % 扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析% ! 1% % 1 Z 1 1 1 1 孙东明 !董玮 !玄伟 !刘彩霞 !王国东 !陈维友 ( 吉林大学集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区吉林长春 3 中国科学院长春 1. 13001Z Z. 光学精密机械与物理研究所吉林长春 1300Z1 摘要:基于扭转动力学原理推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压~ 响应时间和其它动力学参数的特性方程对于忽略和考虑空气阻尼效应的种情况分别进行了详细的讨论计算结果可以用于分析Z 器件处于真空和空气条件下的工作状态结果表明当考虑空气阻尼时悬臂梁的运动轨迹与忽略空气阻尼时相比较发生相当大的改变从而吸合(pull-in 电压和响应时间等计算结果也发生改变因此对于微机电系统(MEMS 器件的设计和制作空气阻尼效应是影响其性能和工作条件的重要因素最后介绍了一种光学测量方法可用于器件的响应时间和悬臂梁扭转角度等参数的测试得到的实验结果与理论分析结果有较好的吻合关键词:微机电系统(MEMS 3 微驱动器3 静电驱动3 动力学分析3 空气压膜阻尼中图分类号! + 文献标识码! 文章编号! ( TPZ11 .4 A 1005-0086 Z006 06-0658-08 Characteristicanal sison D namic res onse of a Micro-actuator with Torsion y y p Beam Usin Electrostaticactuationg