模拟集成电路直流参数测试系统的研制 development of analog ic automatic test system.pdfVIP

测试测量技术 模拟集成电路直流参数测试系统的研制 of ICAutomaticTest DevelopmentAnalog System 刘军(电子科技大学自动化工程学院，四川成都611731) 61 Uu 1731) Jun(脚ofAutmnationEngine鲥I-g，UESTC，SichuanChen#u 摘要：文章介绍了自动测试系统的原理与内部模块之间的工作过程及系统的总体结构。解决了精确溯量单 元等关键技术。研制了一种通用性强．成本低。性能uI靠的自动测试系统。经过实验与生产应用，所研制的测 试系统适合于半导体行韭的实际生产需要，具有比较高应用价值。 关键词：集成电路渊试；精密测量单元；被测器件 中图分类号：TMl35 文献标识码：B 文章编号：1003-0107(2010)03--0017--03 舳raet：ThearticleInm3duc：eethe andthefrarr悟ofaL直,omatic modulesof p酊ncjpIe test钳stemand廿1efunction system．The暂一 title80I懈the autoFnl址Jctest keyt∞,hnologiessuch铀p帕cis●∞H旧日飘朋酐n日ntunit．the sy赋ernh∞fe瞰埘部ofversatility．10wc∞ andhigh relial：)ilIIy． hywo曲：ICte目t；PMU；DW l’：∽挪棚瞳，稚TMl衢Do曩嘲r_吐。翻艄^—kk瓤±1∞3-0107(2010)0乱-0017--03 1引言 3测试系统的结构实现 随着集成电路产业的迅猛发展和国家对半导体行业发展 测试系统主要由以下几部分组成：计算机接口模块，精密 的支持，我国集成电路设计也得到了长足发展。对于集成电路 测量单元(PMU)包括大功率PMU为被测器件提供电源，继电 测试提出了更高的要求。国内集成电路测试设备已有不少型 器控制模块，外部设备接口模块。测试系统的结构图如图l所 号，但是在性能、通用性、工艺上与国外的测试设备相比有很 示。 大的不足。目前国内集成电路制造企业大部分选用国外的测 刊竺p 试设备，这些设备价格昂贵，操作复杂，在一定程度上增加了 l 集成电路生产的成本。为了解决这些问题，本文设计并实现了 计算机 PCI接几 接n 昕 及总线 《D电路 一种通用的中小规模模拟集成电路自动测试系统。 } 爿]砟 2测试系统工作原理 图1测试系统结构图 不