铁基软磁合金薄带高频磁导率测量方法研究 measurement of high frequency permeability of fe-based soft magnetic alloy ribbon.pdfVIP

铁基软磁合金薄带高频磁导率测量方法研究 蒋伟伟，雷剑，周 勇，向毅，雷冲 (微米／纳米加工技术重点实验室，上海交通大学微纳科学技术研究院，上海200240) 摘要：给出一种铁基软磁合金薄带高频磁导率的测量方法，详细介绍了该方法的测量原理，并利用Agilent E4991A射频阻抗／材料分析仪研究了退火温度对201am厚铁基软磁合金薄带高频磁导率的影响。结果表明，随 退火温度的提高，磁导率实部单调提高，磁导率虚部则是先升高后降低。尤其是在550℃下退火，在IMHz和 10MHz下样品磁导率实部分剐为2210和330；比较了不同温度退火样品的磁导率的测量结果，得知550℃是一 个比较理想的退火温度。研究结果对以铁基非晶、纳米晶软磁合金薄带为磁心的高频微电感、微变压器等磁性 器件的设计具有重要的指导意叉。 关键词：铁基软磁合金薄带；退火热处理；高频磁导率；测量 文献标识码：B 中图分类号：TM276；TM936．4 文章编号：1001．3830(2012)01-0056．05 of Measurement highfrequencypermeability ofFe—basedsoft ribbon magneticalloy JIANG Jian，ZHOU Wei—wei，LEI Yong，XIANGYi，LEI Chong National and onNano／MicroFabrication Institute KeyLaboratoryofScienceTechnology Technology,Research Scienceand 200240,China Technology ofMicro／Nano ShanghaiJiao幻ngUniversity,Shanghai Abstract：Measurementof ofFe-basedsoft ribbonisintroducecdin highfrequencypermeability magneticalloy detaill．Effectof on ofFe—basedsoft ribbon annealingtemperaturehighfrequencypermeability magneticalloy with A was thicknessof E499l RF studiedinthis showedthat 20I．tmby impedance／materialanalyzer Agilent paper．Results thereal ofthe increases withtheincrease the partofpermeabilitysample monotonically ofannealingtemperat