气体放电等离子体DPP极紫外光源研究进展.pdfVIP

综述与评论 Review and Comment 气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展* 1 2 2 ，3 1 ， ， ， 赵红军 昊罡 李 颜 亮 李 川 (1． ， 621000 ;2． ， ， 绵阳职业技术学院信息工程系 四川绵阳 西安交通大学 电力设备电气绝缘国家重点实验室 710049 ;3． ， 510075) 陕西西安 南方电网综合能源有限公司 广东广州 : ， 。 摘 要 极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术 对推动集成电路发展具有重要作用 极紫外光源是极紫外光刻 ， 。 ， ， 技术的源头 其技术水平直接制约了光刻技术的发展 气体放电等离子体极紫外光源结构简单 转换效率高 适合大规模工业 ， 。 、 应用 具备良好的应用前景 现有气体放电等离子体光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源 激光辅助等离子体极紫外光 、 。 ， ， 源 等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源等 近年来 极紫外光光刻技术工业化进展较快 该文对气 ， 。 体放电等离子体技术做了综述 掌握必威体育精装版研究进展有助于推动我国相关领域研究 : ; ; ; ; ; 关键词 极紫外光源 气体放电等离子体 毛细管放电 激光辅助放电 等离子体聚焦 中空阴极触发等离子体箍缩 中图分类号:TN23 文献标识码:A DOI :10． 19358 /j． issn． 1674-7720． 2016． 09． 003 : ， ， ， ． (DPP) ［J］． ，2015 ，35 (9):8-11． 引用格式 赵红军 李昊罡 颜亮 等 气体放电等离子体 极紫外光源研究进展 微型机与应用 The recent progress of discharge produced plasma extreme ultraviolet source Zhao Hongjun1 ，Li Haogang2 ，Yan Liang2 ，3 ，Li Chuan1 (1． Department of Information Engineering，Mianyang Polytechnic ，Mianyang 621000 ，China ; 2． State Key Laboratory of Electrical Insulation and Power Equipment ，Xi ’an Jiaotong University ，Xi ’an 710049 ，China ;