抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响.pdfVIP

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2017-08-14 发布于浙江
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抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响

第卷第期光学技术 ! # 3456!046# 年月 $$% ’()*+,-).+/0*12. 785 $$% 9 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号：（） :$$;:=$$%$#;$%;$! 抛光液的值对抛光元件表面粗糙度的影响 ! : : : : 韩敬华，冯国英，杨李茗，刘义彬，朱海波，刘民才，王绍鹏（四川大学电子信息学院，成都；成都精密光学工程研究中心，成都） :6 %:$$%# 6 %:$$#: 摘要：减小大孔径超光滑玻璃表面的粗糙度是提高抛光质量的关键。实验研究了抛光过程中 /值对抛光元件表面粗糙度的影响。结果表明：抛光液的值对抛光元件表面粗糙度有较明显的影响；抛光过程中抛光液的值会 / / 随抛光时间而变化；抛光过程中，当保持抛光液处于微碱状态，且离抛光粉的等电离点较远时，抛光元件表面具有较小的粗糙度。关键词：抛光；/值；表面粗糙度；水解；等电离点中图分类号：文献标识码： )1:: , ’ #$%’()*%’+%,-(.$% -),$’ )*1, 23)*%,*-’ ! / 0 ! ! .$%4-*$’%,,-(.$% -),$’ +-5 -’%’.,*4(3+% / ! / ! : : ，，， !#$%()*+ ,-#..*/(% 1#.2%(3% 2451%(6% ’ 0 ’ ’ ’ : : ，， 7!5!+%(6/ 2458%(9+% :#.;)+/(= ’ （，