金属氧化物气敏元件的研究进展 research of mental oxide gas senor.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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金属氧化物气敏元件的研究进展 research of mental oxide gas senor

第10卷，第03期电子与封装总第83期 V01．10．No．03 2010年03月 ELECTRONICSPACKAGn呵G 徽屯子翻造与可靠住j ．．，一／金属氧化物气敏元件的研究进展申小丹，程东明，吴京京，杨光鲲 (桂林电子科技大学机电工程学院，广西桂林541004) 摘要：气敏传感器在现代工农业、信息技术、环境监测等领域都有重要应用。随着这几个领域的发展，人类对其综合性能要求越来越强，进而不断积极改良气敏传感器的性能。金属氧化物气敏元件是利用金属氧化物半导体的表面电阻遇到被测气体发生变化的原理制成的电子器件，其选择性和稳定性是研究气敏元件的两项重要指标。文章概述了金属氧化物元件气敏特性的研究进展，介绍了基体材料、掺杂材料、气敏材料的制备工艺、电极材料及结构等几个因素对元件气敏特性的主要影响，并对各种因素的作用机理进行了分析。最后展望了金属氧化物气敏元件的发展前景。关键词：金属氧化物；气敏元件；选择性；稳定性中图分类号：TN306 文献标识码：A ResearchofMentalOxideGasSenor SHEN Xiao-dan，CHENGDong—ming，WUJing-jing，YANGGuang—kun (School andElectrical Technology， ofMechanical Engineering，GuilinUnivers砂ofElectronic Guilin 541004,China) Abstract：Gassensorshas inmodem importantapplicationsindustry，agriculture，informationtechnology， environmentalandotherfields．thehumanhasbeen the of monitoring activelyimprovingperformancegas sensorsWiththese and inthefields．Metal developmentsstrongcomprehensiveperformancerequirements oxidesensoristheelectronicdevicesofmetaloxidesemiconductorsurfaceresistance gas changingobviously when measured its and istwo indicatorsof the meeting gases，andselectivitystabilityimportant studyinggas metaloxide summari