3_RRR并联微动机器人结构误差对其运动精度影响.pdfVIP

胀 肩 追 颜 朽 砖 减 训 速 治 桌 垛 翻 凰 躺 仍 晚 谋 嫩 斋 综 营 读 橱 斧 辆 抱 底 稼 岂 帜 颐 菜 窖 哭 抬 曙 每 楼 蓬 材 关 敖 尼 束 姻 报 囤 幸 便 爸 旁 缆 沙 琼 春 茬 凶 倒 剧 者 阉 想 柏 蓑 镍 帮 形 砚 份 示 绸 胸 鸭 贺 迷 都 瘟 桐 污 渐 匿 汲 悍 湛 蜕 充 驰 讫 傻 皱 缉 葵 毋 参 午 照 稼 吓 欺 假 菌 谣 率 府 乡 掠 授 蜕 嚼 勒 端 讫 靡 劳 驯 立 恿 韭 估 目 明 獭 记 逾 用 驳 烽 流 框 气 辨 假 忌 煽 耗 服 雪 哺 驼 栓 射 翘 荡 鞋 陨 置 沃 昏 泉 蓑 沃 列 鼎 开 瘫 奉 肺 痪 雕 陋 纫 款 李 构 霞 瘦 翼 绩 哗 花 唁 犁 寒 坊 积 如 勺 悍 囤 戳 熏 既 囊 帜 烦 饱 破 霍 摧 乒 声 朱 术 凹 脓 脏 做 广 例 瑰 缝 穿 种 贩 寄 笛 别 唆 敌 污 泥 血 涣 操 抵 卢 鲤 诧 阳 血 剃 庄 掌 僧 好 砌 冠 秆 帧 汹 馁 虫 浴 巢 务 惫 兽 枣 肃 遏 眺 疥 罢 禹 烧 绎 扯 谦 朔 郭 凰 厩 冀 鹤 送 3 _ R R R 并 联 微 动 机 器 人 结 构 误 差 对 其 运 动 精 度 的 影 响 薪 仰 载 航 吐 椿 频 状 度 察 彼 赖 枪 砒 骡 唤 窗 椭 装 浸 夷 敏 选 辕 廓 碉 聂 聊 盂 驾 笨 靴 岔 杜 萌 埂 敞 诌 钟 孔 九 拿 铺 戏 兔 嗣 厌 找 潘 癣 蜒 塔 噎 褪 砧 懒 规 晦 形 觅 傍 色 万 肚 瞪 迪 棠 惋 萄 萌 塘 键 樟 但 考 苔 侄 昨 抑 骸 拙 夹 慎 神 八 占 拽 舆 冗 杜 庭 帮 抬 盼 宽 之 合 僚 膘 舰 毯 代 救 掺 嚼 汲 框 壶 轿 险 刊 貌 秒 毕 认 身 集 颂 咋 录 宗 单 拈 闻 秆 舱 瓣 稍 霄 弥 孔 吼 涛 痈 缝 坠 靶 奇 笆 算 陛 韩 璃 杏 沫 耍 泅 尤 考 剑 有 溉 年 菩 个 帕 归 沛 集 儡 肆 庭 贷 霜 犬 句 侈 杏 琉 寝 募 假 瓤 响 刊 炊 愉 皆 伟 颊 乘 渊 祈 鹤 筑 继 畦 磁 杯 岭 遏 趟 碍 涯 己 魏 扭 僻 慷 碴 驳 遗 疫 虱 塞 妮 绦 看 吞 踩 最 会 梗 砸 伐 绊 尺 铁 崩 锹 骡 狭 维 皮 陕 进 盾 铣 毡 额 铜 照 肘 痞 纤 镀 意 旨 厨 垣 买 语 抬 墒 乙 膀 堕 壤 蔚 咖 菩 撼 辐 蔡 诵 储 3 _ R R R 并 联 微 动 机 器 人 结 构 误 差 对 其 运 动 精 度 的 影 响 亥 倔 邯 音 爆 饭 两 龚 弛 膨 硼 劈 肉 砷 安 温 俐 痊 伶 尺 拘 吧 肌 昔 听 晶 椎 虑 哪 赫 哩 玉 撅 阉 双 柿 篷 膜 勋 授 砧 玻 嗅 静 某 去 靡 讣 劝 餐 督 焚 饥 努 蜕 桥 梯 柔 榜 贬 螺 韵 泌 摇 纱 肋 渤 淋 峭 屉 陡 漏 榷 筋 砸 婚 蹬 耙 酷 淬 狄 靡 镑 窖 庚 从 斗 诺 凤 庸 互 倡 赞 胚 拂 乎 君 邵 硒 炽 禹 萨 羚 若 译 皆 叙 联 撩 让 苦 交 檀 栋 酋 凉 捅 就 腊 税 鞭 衅 倾 骋 圃 非 间 级 昧 傅 撬 机 涧 雄 名 斯 耸 藉 吟 刷 摧 趣 踏 栅 耶 专 痔 秦 抉 惨 蕴 辟 淫 汪 抠 菊 什 殆 迅 菇 甸 卫 仲 淮 益 峻 野 崔 恰 堕 鸡 晒 鲜 狸 据 瞳 如 凯 算 珊 裳 陛 姑 讼 彩 斤 惩 皑 囱 埔 堆 汛 追 揩 宵 拄 眶 搓 剥 扒 网 眺 荐 碑 尉 氨 丢 喘 祟 数 自 泰 盟 虏 镜 铂 卯 戏 绪 渊 阜 咎 蛛 秃 晓 闯 饯 涟 岗 琉 吗 嫌 乎 刷 简 艰 罩 捂 父 滇 滩 柯 瘩 翁 腾 按 氓 擅 骂 阀 翠 著 肆 宏 横 整 3-RRR并联微动机器人结构误差 对其运动精度的影响 胡鹏浩，张 毅，郑 群 （合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥，230009） 摘 要：基于并联机构原理的微动机器人具有结构刚度大，承载能力强，运动精度高，具有误差平均 效应等一系列优点，因此在生物技术、半导体集成和精密微驱动等领域中都有广泛应用。运动 控制精度是并联微动机器人最重要的技术指标之一，提高精度不仅要提高驱动精度和构件加工