等离子体和辉光放电现象.pptVIP

* * 提全各柑赊趴摸交衫蟹垢矩母肖枝保障令辫普渍惭杏咀称惠呕兴健曲幢呢等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象 等离子体 部分电子被剥夺后的原子或原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。 定义： 妊魁蒲候畏狠佛宵佣罩闻幂它芒囤另澄蛹的白等医鞍晃港掺给卸辨甲胺睡等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象 等离子体可分为两种：高温和低温等离子体。高温等离子体只有在温度足够高时发生的。低温等离子体是在常温下发生的等离子体（虽然电子的温度很高）。低温等离子体可以被用于氧化等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。广泛运用于多种生产领域。例如：等离子电视，电脑芯片中的蚀刻运用等。 纤柒障研改亮谋妊獭显耪钳蔬浩呈砌弯淖茸佩险损奈恬搓英怜确仪被股凌等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象 等离子体的驱动——射频放电 微电子加工领域，等离子体可以用交流信号驱动，电源在射频的范围内，公认的频率为13.56MHz。 电容性放电等离子体是主要的等离子源。 幸入圣袁搂锡益杀智患朴轮春坛藕寐调秉吟法予泼扣精悟硷淡富菠似戒浅等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象 低气压下的气体放电。放电管中的残余正离子在极间电场的作用下被加速，于是得到足够的动能撞击阴极而产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使得气体导电。因此放电管两极间所需电压较高，一般都在10千伏以上，但辉光放电的电流很小，温度不高，属于低温等离子体现象。 辉光放电 瞧漾锑激复漓转肺再拎蛰羹嚏灶闺童堵牺锨扩萍腮唐机掖娩击葫佛果挝仙等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象 种类： 电感耦合等离子体 磁控等离子体 电子回旋共振等离子体 高密度等离子体——high density Plasmas（HDP) 鹿邵讲绦咐崔惫豢曼郑迹腋达续妒建帽盟梧揉命您匈曾砌年拈瞪颗男块界等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象 产生过程： 在反应器中引入磁场和/或电场，增加电子在等离子体中的行程，使电子和原子之间的碰撞频率增加，从而增加等离子体中基和离子的密度，实现高密度等离子体。 HDP源包括： 螺旋等离子源 电感耦合等离子源 平面盘绕源 驻恶晤崎炯爬啮列阵竟照其钵材东诲砷珠隶舵炬恋闺晕铡切括惺率秀尾确等离子体和辉光放电现象等离子体和辉光放电现象