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等离子喷涂制备al2o3块体材料的介电性能 research on dielectric properties of al2o3 bulks manufactured by plasma spray

电子工艺技术 114 Electronics Process Technology 年 月 第 卷第 期 2013 3 34 2 等离子喷涂制备Al O 块体材料的介电性能 2 3 1 2 1 1 1 李元生 ,杨中元 ,赵丹 ,金谋平 ,陈彦青 (1.中国电子科技集团公司第38研究所,安徽 合肥 232100; 2.北京有色金属研究总院,北京 100088) 摘 要:将两种纯度较高的Al O 粉末采用等离子喷涂工艺制备成块体,其孔隙率分别达到11.2%和11.6%。 2 3 用等离子喷涂工艺制备的Al O 块体在7 GHz~18 GHz下的介电常数ε 分别是7.2和7.1,介电损耗tan δ分别是 2 3 r 3.5×10-3和1.0×10-3 。用这种工艺制备的Al O 块体的介电常数比常规压制烧结工艺制备的低,但是介电损耗大, 2 3 这主要与等离子喷涂工艺所制备样品的孔隙率和微结构等有关。 关键词:等离子喷涂;孔隙率;介电常数;介电损耗 中国分类号: 文献标识码: 文章编号: TN304  A  1001-3474(2013)02-0114-04 Research on dielectric properties of Al O bulks manufactured by 2 3 plasma spray 1 2 1 1 1 LI Yuan-sheng , YANG Zhong-yuan , ZHAO Dan , JIN Mou-ping , CHEN Yan-qing ( 1.The 38th Research Institute of CETC, Hefei 232100, China; 2. General Research Institute for Non-ferrous Metals, Beijing 100088, China ) Abstract: Two kinds of alumina bulks were manufactured by plasma spray with high purity alumina powders. Porosity rates -3 -3 are up to 11.2% and 11.6%. Dielectric constants are 7.2

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