薄膜的制备及特性-上海师范大学学报.PDF

卷 期 上海 学 然 学版 , 第 第 师范大学 报 自 科 年 月 , 薄膜 的制 备及特性 任玉 磊 , 谢东珠, 忻云 龙 上海师范大学 数理 信息学院, 上海 一 摘 要 用 电子 束蒸发 法在 衬底上制备 了 多晶薄膜 , 研 究 了薄膜 的表面形貌 、 结 晶特性 、 红外吸收特性 随生长温度和退 火 温度 的变化 关 系 , 发现较 高的 生长温度有利 于 方 向晶粒 的择优 生长 , 较 高的退 火 温 度 能 促进 方 向的 晶粒 向 方 向的晶粒转 变 , 择优 方向的 薄膜对 长红 外波段 的吸收 比 择优 方 向的薄膜 明显增强 关键词 材料 表面 形貌 择优 生长 射线衍射 一 中图分类号 以 文献标识码 文章编号 一 引 言 一 , 几 , 。 膜是一种很重要 的钙钦矿 型材料 它们所具有 的优越的压 电性川 和热释电 、 ’ ’