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真空镀膜技术真空镀膜技术 深圳微普真空系统集成有限公司 真空 “真空”这一术语译自拉丁文Vacuo ，其意义是虚无。其实真空 应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内，低于一个大气 压力的气体状态统称为真空压力的气体状态统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真真空状态下气体稀薄程度称为真 空度，通常用压力值表示。 真空技术是基本实验技术之真空技术是基本实验技术之一。 自从自托里拆利做了著名年托里拆利做了著名 的有关大气压力实验，发现了真空现象以后，真空技术迅速发 展。现在，真空技术已经成为一门独立的前言学科。它的基本 内容包括内容包括：：真空物理真空物理、、真空的获得真空的获得、、真空的测量和检漏真空的测量和检漏、、真空真空 系统的设计和计算等。随着表面科学、空间科学高能粒子加速 器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技的 发展，真空技术在近代尖端科学技术中的地位越来越重要。 真真空量度单位度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr1Torr=133133.3Pa3Pa 真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空粗真空 5 3 1010 −1010 papa ((760760 −1010TorrTorr)) 低真空 3 −1 −3 10 −10 pa (10−10 Torr) 高真空 −1 −6 −3 −8 10 −10 pa (10 −10 Torr) 超高真空超高真空 −6 −10 −8 −12 10 −10 pa (10 −10 Torr) −10 −12 极高真空 10 pa (10 Torr) 真空获得—真空泵 1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名 的马德堡半球试验的马德堡半球试验。 原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。 真空泵的分类 气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵机械泵、、油扩散泵油扩散泵、、涡轮分子泵涡轮分子泵。。 气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵结在泵内表面的真空泵，例如分子筛例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。 真空镀膜技术及其特点 在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发（或 溅射溅射），使其使其沉积在被涂覆的物体在被涂覆的物体 （基体体）上上 的方法称为真空镀膜。 在材料表面上，镀上一层薄膜就能使该种材料 具有许多新的物理和化学性能。 过去的镀膜多采用电镀法和化学镀法，存在厚 度难以控制度难以控制，，膜层均匀性差膜层均匀性差，，附着力差附着力差，，并造并造 成环境污染等问题。 真空镀膜技术的应用 平板光学和平板显示 建筑玻璃 半导体制造半导体制造 数据存储 包装工业 装饰镀和工具镀装饰镀和工具镀 太阳能电池太阳能电池 真空镀膜技术